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Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

Certificazione
Cina DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Certificazioni
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Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

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Grande immagine :  Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

Dettagli:
Luogo di origine: Guangdong, Cina
Marca: LONROY
Termini di pagamento e spedizione:
Quantità di ordine minimo: 1

Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

descrizione
Tipo: Macchina di prova Classe di precisione: Alta precisione
Precisione: / Applicazione: test automatici
Supporto personalizzato: OEM, ODM, OBM Energia: -
Classe di protezione: IP56 Voltaggio: 220 v
Garanzia: 1 anno Intervallo di analisi spettrale: 380 nm-1100 nm
Misurare la dimensione del punto: 1-5 mm Precisione assoluta dello spessore del film: tra 0,2% o 2 nm, a seconda di quale sia maggiore
Stabilità dello spessore del film: migliore di 0,05 nm
Evidenziare:

misuratore di spessore della pellicola riflettente

,

macchina di laboratorio per il controllo delle costanti ottiche

,

macchina per il controllo dell'uniformità dello spessore della pellicola

Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester di costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola

 

 

I. Panoramica

L'LR-A428 misuratore di spessore della pellicola riflettenteutilizza il principio dell'interferenza riflessa per misurazioni non distruttive. Analizzando lo schema di interferenza formato dalla luce riflessa dalla superficie della pellicola e dalla luce riflessa dall'interfaccia tra la pellicola e il substrato, insieme allo stadio R-Theta, può essere compatibile con campioni da 6 a 12 pollici. Può eseguire la scansione rapida dell'intero campione, misurando in modo rapido e accurato informazioni come lo spessore della pellicola e le costanti ottiche e valutando l'uniformità dello spessore della pellicola.

 

1.Soluzione di misurazione della pellicola ottica;

2.Misurazione senza contatto e non distruttiva;

3.L'algoritmo principale supporta l'analisi da film sottili a film spessi e da film a strato singolo a film multistrato.

4.Precisione di misurazione della ripetibilità dello spessore del film: 0,02 nm

5.Misurazione completamente automatica. Il numero e la posizione dei punti di misurazione possono essere modificati secondo necessità nella Ricetta.

 

 

II. Caratteristiche del prodotto

 

1.Utilizzando una sorgente luminosa alogena ad alta intensità, lo spettro copre la gamma dall'ultravioletto al vicino infrarosso.

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2.Adotta un design altamente integrato di ottica, meccanica ed elettronica, caratterizzato da dimensioni ridotte e facilità d'uso.

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3.Basato sul principio dell'interferenza della luce riflessa sull'interfaccia e sull'interfaccia inferiore dello strato di pellicola sottile, è facile analizzare da un singolo strato a più strati.

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4.Dotato di potenti algoritmi di analisi di base: FFT viene utilizzato per analizzare film spessi e il metodo di analisi dell'adattamento della curva viene utilizzato per analizzare le informazioni sui parametri fisici dei film sottili;

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III. Applicazioni del prodotto

È ampiamente applicato nella misurazione di vari tipi di film protettivi, film organici, film inorganici, film metallici, rivestimenti, ecc.

 

Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester delle costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola Macchina per test di laboratorio

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Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester di costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola

 

Specifica tecnica

 

Funzione di base

Ottenere valori di spessore del film e spettri R

Intervallo di analisi spettrale

380 nm-1100 nm

Misurare la dimensione del punto

1-5 mm

Precisione di misurazione della ripetibilità dello spessore del film:

0,02 nm (campione SiO2 a base di silicio da 100 nm, 100 misurazioni ripetute)

Precisione assoluta dello spessore del film

tra 0,2% o 2 nm, a seconda di quale sia maggiore

Stabilità dello spessore del film

migliore di 0,05 nm

Intervallo di misurazione dello spessore del film

15nm~70um

Fase del campione

Piattaforma mobile automatizzata R-Theta, diametro del tavolino campione non inferiore a 200 mm

* Metodo di prova

Test automatizzati in più punti per generare una mappa di mappatura dello spessore (1. Circolare/quadrata, 2. Forma radiale, 3. Centro o
esclusione dei bordi, 4. Personalizzazione (modificare i punti delle coordinate in base alle esigenze del campione)

Velocità di prova (compreso il mandrino a vuoto)

5 punti in 5 secondi, 25 punti in 14 secondi, 57 punti in 30 secondi

Sorgente luminosa

Sorgente luminosa alogena standard (con una durata di 10.000 ore)

Simulazione della riflettività

Può modellare diversi materiali di rivestimento e simulare la curva di riflettività del sistema di pellicola di rivestimento

Software di analisi

fino a centinaia di database costanti di materiale ottico e supporta librerie di materiali ottici definite dall'utente; Fornire funzionalità di modellazione, simulazione e analisi per film sottili ottici isotropi multistrato;

Specifiche della tabella di prova del campione

Dimensioni dei wafer misurabili

2 pollici, 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici e 12 pollici

Metodo di fissazione del wafer

assorbimento sotto vuoto

Campo mobile del palco

non meno di 200 mm * 200 mm

Posiziona manualmente il campione, mappa e misura automaticamente e il numero e la posizione dei punti di misurazione possono essere modificati secondo necessità nella Ricetta

 

 

 

 

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Dettagli di contatto
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

Persona di contatto: Kaitlyn Wang

Telefono: 19376687282

Fax: 86-769-83078748

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