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Dettagli:
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| Tipo: | Macchina di prova | Classe di precisione: | Alta precisione |
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| Precisione: | / | Applicazione: | test automatici |
| Supporto personalizzato: | OEM, ODM, OBM | Energia: | - |
| Classe di protezione: | IP56 | Voltaggio: | 220 v |
| Garanzia: | 1 anno | Intervallo di analisi spettrale: | 380 nm-1100 nm |
| Misurare la dimensione del punto: | 1-5 mm | Precisione assoluta dello spessore del film: | tra 0,2% o 2 nm, a seconda di quale sia maggiore |
| Stabilità dello spessore del film: | migliore di 0,05 nm | ||
| Evidenziare: | misuratore di spessore della pellicola riflettente,macchina di laboratorio per il controllo delle costanti ottiche,macchina per il controllo dell'uniformità dello spessore della pellicola |
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Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester di costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola
I. Panoramica
L'LR-A428 misuratore di spessore della pellicola riflettenteutilizza il principio dell'interferenza riflessa per misurazioni non distruttive. Analizzando lo schema di interferenza formato dalla luce riflessa dalla superficie della pellicola e dalla luce riflessa dall'interfaccia tra la pellicola e il substrato, insieme allo stadio R-Theta, può essere compatibile con campioni da 6 a 12 pollici. Può eseguire la scansione rapida dell'intero campione, misurando in modo rapido e accurato informazioni come lo spessore della pellicola e le costanti ottiche e valutando l'uniformità dello spessore della pellicola.
1.Soluzione di misurazione della pellicola ottica;
2.Misurazione senza contatto e non distruttiva;
3.L'algoritmo principale supporta l'analisi da film sottili a film spessi e da film a strato singolo a film multistrato.
4.Precisione di misurazione della ripetibilità dello spessore del film: 0,02 nm
5.Misurazione completamente automatica. Il numero e la posizione dei punti di misurazione possono essere modificati secondo necessità nella Ricetta.
II. Caratteristiche del prodotto
1.Utilizzando una sorgente luminosa alogena ad alta intensità, lo spettro copre la gamma dall'ultravioletto al vicino infrarosso.
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2.Adotta un design altamente integrato di ottica, meccanica ed elettronica, caratterizzato da dimensioni ridotte e facilità d'uso.
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3.Basato sul principio dell'interferenza della luce riflessa sull'interfaccia e sull'interfaccia inferiore dello strato di pellicola sottile, è facile analizzare da un singolo strato a più strati.
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4.Dotato di potenti algoritmi di analisi di base: FFT viene utilizzato per analizzare film spessi e il metodo di analisi dell'adattamento della curva viene utilizzato per analizzare le informazioni sui parametri fisici dei film sottili;
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III. Applicazioni del prodotto
È ampiamente applicato nella misurazione di vari tipi di film protettivi, film organici, film inorganici, film metallici, rivestimenti, ecc.
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Misuratore di spessore della pellicola riflettente Tester di costanti ottiche Macchina per test di uniformità dello spessore della pellicola
Specifica tecnica
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Funzione di base |
Ottenere valori di spessore del film e spettri R |
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Intervallo di analisi spettrale |
380 nm-1100 nm |
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Misurare la dimensione del punto |
1-5 mm |
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Precisione di misurazione della ripetibilità dello spessore del film: |
0,02 nm (campione SiO2 a base di silicio da 100 nm, 100 misurazioni ripetute) |
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Precisione assoluta dello spessore del film |
tra 0,2% o 2 nm, a seconda di quale sia maggiore |
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Stabilità dello spessore del film |
migliore di 0,05 nm |
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Intervallo di misurazione dello spessore del film |
15nm~70um |
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Fase del campione |
Piattaforma mobile automatizzata R-Theta, diametro del tavolino campione non inferiore a 200 mm |
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* Metodo di prova |
Test automatizzati in più punti per generare una mappa di mappatura dello spessore (1. Circolare/quadrata, 2. Forma radiale, 3. Centro o |
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Velocità di prova (compreso il mandrino a vuoto) |
5 punti in 5 secondi, 25 punti in 14 secondi, 57 punti in 30 secondi |
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Sorgente luminosa |
Sorgente luminosa alogena standard (con una durata di 10.000 ore) |
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Simulazione della riflettività |
Può modellare diversi materiali di rivestimento e simulare la curva di riflettività del sistema di pellicola di rivestimento |
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Software di analisi |
fino a centinaia di database costanti di materiale ottico e supporta librerie di materiali ottici definite dall'utente; Fornire funzionalità di modellazione, simulazione e analisi per film sottili ottici isotropi multistrato; |
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Specifiche della tabella di prova del campione |
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Dimensioni dei wafer misurabili |
2 pollici, 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici e 12 pollici |
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Metodo di fissazione del wafer |
assorbimento sotto vuoto |
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Campo mobile del palco |
non meno di 200 mm * 200 mm |
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Posiziona manualmente il campione, mappa e misura automaticamente e il numero e la posizione dei punti di misurazione possono essere modificati secondo necessità nella Ricetta |
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Persona di contatto: Kaitlyn Wang
Telefono: 19376687282
Fax: 86-769-83078748