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제품 소개실험실 검사 기계

반사 필름 두께 미터 광적 상수 검사 필름 두께 균일성 테스트 기계 실험실 테스트 기계

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중국 DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD 인증
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큰 이미지 :  반사 필름 두께 미터 광적 상수 검사 필름 두께 균일성 테스트 기계 실험실 테스트 기계

제품 상세 정보:
원래 장소: 중국 광둥
브랜드 이름: LONROY
결제 및 배송 조건:
최소 주문 수량: 1

반사 필름 두께 미터 광적 상수 검사 필름 두께 균일성 테스트 기계 실험실 테스트 기계

설명
유형: 테스트 머신 정확도 등급: 높은 정확도
정확성: / 애플리케이션: 자동 테스트
맞춤형 지원: OEM, ODM, OBM 힘: -
보호 등급: IP56 전압: 220 v
보증: 1년 스펙트럼 분석 범위: 380nm-1100nm
스폿 크기 측정: 1-5mm 필름 두께의 절대적인 정밀도: 0.2% 또는 2nm 중 더 큰 값
필름 두께 안정성: 0.05nm보다 우수
강조하다:

반사 필름 두께 측정기

,

광적 상수 검사용 실험실 기계

,

필름 두께 균일성 테스트 기계

반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 기계 실험실 테스트 기계

반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 기계

 

 

I. 개요

LR-A428 반사 필름 두께 측정기비파괴 측정을 위해 반사 간섭 원리를 활용합니다. R-Theta 스테이지와 함께 필름 표면에서 반사된 빛과 필름과 기판 사이의 계면에서 반사된 빛에 의해 형성된 간섭 패턴을 분석함으로써 6~12인치 범위의 샘플과 호환 가능합니다. 전체 샘플을 빠르게 스캐닝하여 필름 두께, 광학 상수 등의 정보를 빠르고 정확하게 측정하고 필름 두께의 균일성을 평가할 수 있습니다.

 

1.광학 필름 측정 솔루션;

2.비접촉, 비파괴 측정;

3.핵심 알고리즘은 얇은 필름에서 두꺼운 필름까지, 단층 필름에서 다층 필름까지의 분석을 지원합니다.

4.막 두께 반복성 측정 정확도: 0.02nm

5.완전 자동 측정. 측정 지점의 수와 위치는 레시피에서 필요에 따라 편집할 수 있습니다.

 

 

II. 제품특징

 

1.고강도 할로겐 광원을 활용하여 스펙트럼은 자외선에서 근적외선까지의 범위를 포괄합니다.

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2.광학, 기계, 전자의 고도로 통합된 설계를 채택하여 작은 크기와 쉬운 작동이 특징입니다.

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3.박막층의 계면과 하부 계면에서 반사광이 간섭하는 원리를 이용하여 단층부터 다층까지 분석이 용이합니다.

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4.강력한 핵심 분석 알고리즘 탑재: FFT는 두꺼운 필름을 분석하는 데 사용되며 곡선 피팅 분석 방법은 얇은 필름의 물리적 매개변수 정보를 분석하는 데 사용됩니다.

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III. 제품 응용

다양한 유형의 보호 필름, 유기 필름, 무기 필름, 금속 필름, 코팅 등의 측정에 널리 적용됩니다.

 

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기술 사양

 

기본 기능

필름 두께 값과 R 스펙트럼 얻기

스펙트럼 분석 범위

380nm-1100nm

스폿 크기 측정

1-5mm

필름 두께 반복성의 측정 정확도:

0.02nm(100nm 실리콘 기반 SiO2 샘플, 100회 반복 측정)

필름 두께의 절대적인 정밀도

0.2% 또는 2nm 중 더 큰 값

필름 두께 안정성

0.05nm보다 우수

필름 두께 측정 범위

15nm~70um

샘플 스테이지

자동화된 R-Theta 모바일 플랫폼, 샘플 스테이지 직경 200mm 이상

* 테스트 방법

두께 매핑 맵을 생성하기 위해 여러 지점에서 자동 테스트(1. 원형/사각형, 2. 방사형 모양, 3. 중심 또는
가장자리 제외, 4. 사용자 정의(샘플 필요에 따라 좌표점 편집)

테스트 속도(진공척 포함)

5초에 5포인트, 14초에 25포인트, 30초에 57포인트

광원

표준 할로겐 광원(수명 10,000시간)

반사율 시뮬레이션

다양한 코팅 재료를 모델링하고 코팅 필름 시스템의 반사율 곡선을 시뮬레이션할 수 있습니다.

분석 소프트웨어

최대 수백 개의 광학 재료 상수 데이터베이스 및 사용자 정의 광학 재료 라이브러리 지원 다층 등방성 광학 박막에 대한 모델링, 시뮬레이션 및 분석 기능을 제공합니다.

샘플 테스트 테이블 사양

측정 가능한 웨이퍼 크기

2인치&4인치&6인치&8인치&12인치

웨이퍼 고정 방법

진공 흡착

무대의 이동 범위

200mm * 200mm 이상

수동으로 샘플을 배치하고 자동으로 매핑 및 측정하며 측정 지점의 수와 위치는 레시피에서 필요에 따라 편집할 수 있습니다.

 

 

 

 

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연락처 세부 사항
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

담당자: Kaitlyn Wang

전화 번호: 19376687282

팩스: 86-769-83078748

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