Horno de recocido rápido de mesa de 6 pulgadas Horno de recocido rápido de oblea de alta precisión Horno de recocido rápido de oblea Prueba de laboratorio Ma

lRP-Table-6 es un horno de recocido rápido de oblea de escritorio de 6 pulgadas, que utiliza dos capas de lámparas halógenas infrarrojas como fuente de calor para calentar la cavidad interna de cuarzo para aislamiento térmico, y la carcasa de la cavidad es de aleación de aluminio enfriada por agua, de modo que el producto se calienta uniformemente y la temperatura de la superficie es baja.

lRP-Table-6 está controlado por un algoritmo PID y el sistema puede ajustar rápidamente la potencia de salida de la lámpara halógena infrarroja, lo que hace que el control de temperatura sea más preciso.

Características del producto

1.Calefacción por lámpara halógena infrarroja de doble capa, enfriamiento rápido con nitrógeno;

2.Las lámparas de desarrollo propio están dispuestas en grupos para mejorar la uniformidad de la temperatura;

3.Controlada por un algoritmo PID, la potencia de salida de la lámpara se ajusta en tiempo real;

4.Las cuentas de usuario se dividen en tres niveles de permisos para facilitar la gestión de la información;

5.La interfaz principal del software puede mostrar gas, temperatura, vacío y otros parámetros en tiempo real;

6.El sistema guarda automáticamente la información relevante de cada proceso;

7.Identifique automáticamente la información de error y proteja automáticamente el dispositivo cuando haya una anomalía:

8.Detección de sobrecalentamiento: la temperatura de la aleación de aluminio enfriada por agua en la carcasa de la cavidad supera los 70 °C

9.Detección de termopar: durante el proceso del sistema, el valor de monitoreo del termopar no coincide con la configuración

10.Detección de calentamiento: potencia de salida anormal cuando se calienta

11.Detección de cerradura de puerta del horno: si la cerradura de la puerta está bloqueada antes de cada proceso

12.Detección de gas: la presión del gas excede el rango establecido, la presión del gas es demasiado grande o demasiado pequeña

13.Detección de flujo de agua: el caudal de entrada de agua es inferior al valor predeterminado

14.Detección de fugas de agua: Se detecta una fuga de agua

15.Interruptor de parada de emergencia: detenga inmediatamente el proceso y corte la fuente de calor.

lRP-Tabla-6 Aplicaciones industriales

1.recocido IMP

2.Recocido rápido después del recubrimiento ITO

3.óxidos

4.Crecimiento de nitruro

5.Recocido de aleaciones de siliciuro

6.Proceso de arseniuro de galio

7.Aleación rápida de contacto óhmico

8.Reflujo de oxidación

9.Otros procesos de tratamiento térmico rápido de semiconductores