Настольная печь для быстрой отжига 6-дюймовая печь для быстрой отжиги высокоточная печь для быстрой отжиги

лRP-Table-6 - это настольная печь для быстрого отжига 6-дюймовых пластин, в которой в качестве источника тепла используются два слоя инфракрасных галогенных ламп для нагрева внутренней кварцевой полости для теплоизоляции, а оболочка полости изготовлена ​​из алюминиевого сплава с водяным охлаждением, поэтому продукт нагревается равномерно, а температура поверхности низкая.

лRP-Table-6 управляется ПИД-алгоритмом, и система может быстро регулировать выходную мощность инфракрасной галогенной лампы, делая контроль температуры более точным.

Особенности продукта

1.Нагрев двухслойной инфракрасной галогенной лампы, быстрое охлаждение азота;

2.Лампы собственной разработки расположены группами, чтобы обеспечить лучшую однородность температуры;

3.Управляемая алгоритмом ПИД, выходная мощность лампы регулируется в реальном времени;

4.Учетные записи пользователей разделены на три уровня разрешений для облегчения управления информацией;

5.Основной интерфейс программного обеспечения может отображать газ, температуру, вакуум и другие параметры в режиме реального времени;

6.Система автоматически сохраняет соответствующую информацию о каждом процессе;

7.Автоматически идентифицируйте информацию об ошибках и автоматически защищайте устройство в случае неисправности:

8.Обнаружение перегрева: температура водоохлаждаемого алюминиевого сплава в полом корпусе превышает 70°C.

9.Обнаружение термопары: во время системного процесса значение контроля термопары не соответствует настройке.

10.Обнаружение нагрева: ненормальная выходная мощность при нагревании

11.Обнаружение замка дверцы печи: заблокирован ли дверной замок перед каждым процессом

12.Обнаружение газа: давление газа превышает установленный диапазон, давление газа слишком велико или слишком мало.

13.Обнаружение расхода воды: расход воды на входе ниже значения по умолчанию.

14.Обнаружение утечки воды: обнаружена утечка воды.

15.Аварийный выключатель: немедленно остановите процесс и отключите источник тепла.

лRP-Таблица-6 Промышленные приложения

1.ИМП-отжиг

2.Быстрый отжиг после покрытия ITO

3.оксиды

4.Рост нитридов

5.Отжиг силицидных сплавов

6.Процесс арсенида галлия

7.Омический контактный быстрый сплав

8.Окислительный рефлюкс

9.Другие процессы быстрой термообработки полупроводников