테이블 급속 소둔로 6인치 웨이퍼 급속 소둔로 고정밀 웨이퍼 급속 소둔로 실험실 테스트 Ma

LRP-Table-6는 데스크톱 6인치 웨이퍼 급연 굽기 오븐으로, 열 절연을 위해 내부 쿼츠 구멍을 가열하기 위해 두 층의 적외선 할로겐 램프를 열원으로 사용합니다.그리고 구멍 껍질은 물 냉각 알루미늄 합금입니다, 그래서 제품은 균일하게 가열되고 표면 온도는 낮습니다.

LRP-Table-6는 PID 알고리즘에 의해 제어되며 시스템은 적외선 할로겐 램프의 출력 전력을 빠르게 조정하여 온도 조절을 더 정확하게합니다.

제품 특징

1.이중층 적외선 할로겐 램프 난방, 질소 빠르게 냉각

2.자체 개발 된 램프는 온도 균일성을 더 좋게하기 위해 그룹으로 배치됩니다.

3.PID 알고리즘으로 제어되며, 램프의 출력 전력은 실시간으로 조정됩니다.

4.사용자 계정은 정보 관리를 용이하게 하기 위해 세 가지 권한 수준으로 나뉘어 있습니다.

5.소프트웨어의 주요 인터페이스는 가스, 온도, 진공 및 기타 매개 변수를 실시간으로 표시 할 수 있습니다.

6.시스템은 자동으로 각 프로세스의 관련 정보를 저장합니다.

7.오류 정보를 자동으로 식별하고 이상 발생 시 장치를 자동으로 보호합니다.

8.과열 감지: 하위 하우스의 수 냉각 알루미늄 합금의 온도는 70 °C를 초과합니다.

9.열쌍 탐지: 시스템 프로세스 동안 열쌍 모니터링 값은 설정과 일치하지 않습니다.

10.열 감지: 열 때 이상 출력

11.오븐 문 잠금 검출: 각 과정 전에 문 잠금 잠금 여부

12.가스 검출: 가스 압력이 설정 범위를 초과, 가스 압력이 너무 크거나 너무 작다

13.물 흐름 감지: 물 입구 흐름 속도는 기본 값보다 낮습니다.

14.물 누출 감지: 물 누출이 감지됩니다.

15.비상 중지 스위치: 즉시 프로세스를 중지하고 열 소스를 차단

LRP- 테이블-6 산업용

1.IMP 소화

2.ITO 코팅 후 빠른 응열

3.산화물

4.나이트라이드 성장

5.실리시드 합금 굽기

6.갈륨 아르세나이드 공정

7.오름 접촉 빠른 합금

8.산화 역류

9.다른 반도체 빠른 열처리 공정