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LRP-Table-6 ist ein Desktop-6-Zoll-Wafer-Schnellglühofen, der zwei Schichten Infrarot-Halogenlampen als Wärmequelle verwendet, um den inneren Quarzhohlraum zur Wärmeisolierung zu erwärmen. Die Hohlraumhülle besteht aus einer wassergekühlten Aluminiumlegierung, sodass das Produkt gleichmäßig erhitzt wird und die Oberflächentemperatur niedrig ist.

LRP-Table-6 wird durch einen PID-Algorithmus gesteuert und das System kann die Ausgangsleistung der Infrarot-Halogenlampe schnell anpassen, wodurch die Temperaturregelung genauer wird.

Produktmerkmale

1.Doppelschichtige Infrarot-Halogenlampenheizung, Stickstoff schnell abkühlend;

2.Eigenentwickelte Lampen werden in Gruppen angeordnet, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu verbessern;

3.Gesteuert durch einen PID-Algorithmus wird die Ausgangsleistung der Lampe in Echtzeit angepasst;

4.Benutzerkonten sind in drei Berechtigungsebenen unterteilt, um die Informationsverwaltung zu erleichtern.

5.Die Hauptschnittstelle der Software kann Gas, Temperatur, Vakuum und andere Parameter in Echtzeit anzeigen;

6.Das System speichert automatisch die relevanten Informationen jedes Prozesses;

7.Fehlerinformationen automatisch identifizieren und das Gerät automatisch schützen, wenn eine Anomalie auftritt:

8.Überhitzungserkennung: Die Temperatur der wassergekühlten Aluminiumlegierung im Hohlraumgehäuse übersteigt 70 °C

9.Thermoelement-Erkennung: Während des Systemvorgangs stimmt der Thermoelement-Überwachungswert nicht mit der Einstellung überein

10.Erwärmungserkennung: Ungewöhnliche Ausgangsleistung beim Erhitzen

11.Erkennung des Ofentürschlosses: Ob das Türschloss vor jedem Vorgang verriegelt ist

12.Gaserkennung: Gasdruck überschreitet den eingestellten Bereich, Gasdruck ist zu groß oder zu klein

13.Wasserdurchflusserkennung: Die Wassereinlassdurchflussrate ist niedriger als der Standardwert

14.Wasserleckerkennung: Wasserleck wird erkannt

15.Not-Aus-Schalter: Stoppen Sie den Prozess sofort und unterbrechen Sie die Wärmequelle

LRP-Tabelle-6 Branchenanwendungen

1.IMP-Glühen

2.Schnelles Glühen nach der ITO-Beschichtung

3.Oxide

4.Nitridwachstum

5.Glühen von Silizidlegierungen

6.Galliumarsenid-Verfahren

7.Ohmsche Kontakt-Schnelllegierung

8.Oxidationsrückfluss

9.Andere Prozesse zur schnellen Wärmebehandlung von Halbleitern