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LRP-Table-6 est un four de recuit rapide de plaquettes de bureau de 6 pouces qui utilise deux couches de lampes halogènes infrarouges comme source de chaleur pour chauffer la cavité interne en quartz pour l'isolation thermique,et la coque cavité est un alliage d'aluminium refroidi à l'eau, de sorte que le produit soit chauffé uniformément et que la température de surface soit basse.

LLe RP-Table-6 est contrôlé par un algorithme PID, et le système peut rapidement ajuster la puissance de sortie de la lampe halogène infrarouge, ce qui rend le contrôle de la température plus précis.

Caractéristiques du produit

1.chauffage par lampe halogène infrarouge à double couche, refroidissement rapide de l'azote;

2.Les lampes auto-développées sont disposées en groupes pour améliorer l'uniformité de température;

3.contrôlée par un algorithme PID, la puissance de sortie de la lampe est réglée en temps réel;

4.Les comptes utilisateurs sont divisés en trois niveaux d'autorisations pour faciliter la gestion des informations;

5.L'interface principale du logiciel peut afficher en temps réel les paramètres de gaz, de température, de vide et autres;

6.Le système enregistre automatiquement les informations pertinentes de chaque processus;

7.Identifier automatiquement les informations d'erreur et protéger automatiquement le dispositif en cas d'anomalie:

8.Détection de surchauffe: la température de l'alliage d'aluminium refroidi à l'eau dans le boîtier cavité dépasse 70°C

9.Détection du thermocouple: au cours du processus du système, la valeur de surveillance du thermocouple ne correspond pas au réglage

10.Détection de chauffage: puissance de sortie anormale lorsqu'elle est chauffée

11.Détection du verrouillage de la porte du four: si le verrouillage de la porte est verrouillé avant chaque processus

12.Détection du gaz: pression du gaz dépasse la plage définie, pression du gaz est trop élevée ou trop faible

13.Détection du débit d'eau: le débit d'entrée d'eau est inférieur à la valeur par défaut

14.Détection de fuite d'eau: détection de fuite d'eau

15.Commutateur d'arrêt d'urgence: arrêter immédiatement le processus et couper la source de chaleur

LRP-tableau 6 Applications dans l'industrie

1.Réglage des MIP

2.Réglage rapide après revêtement ITO

3.oxydes

4.Croissance des nitrites

5.Le recuit des alliages de silicium

6.procédé d'arsenure de gallium

7.Alliages rapides à contact ohmique

8.Réflux d'oxydation

9.Autres procédés de traitement thermique rapide des semi-conducteurs