میز کوره گرم کردن سریع 6 اینچ وافر کوره گرم کردن سریع وافر با دقت بالا وافر گرم کردن سریع کوره آزمایش آزمایشگاهی

LRP-Table-6 یک کوره بازپخت سریع ویفر 6 اینچی رومیزی است که از دو لایه لامپ هالوژن مادون قرمز به عنوان منبع گرما برای گرم کردن حفره کوارتز داخلی برای عایق حرارتی استفاده می کند و پوسته حفره از آلیاژ آلومینیوم خنک شده با آب است، به طوری که محصول به طور یکنواخت گرم می شود و دمای سطح پایین است.

LRP-Table-6 توسط الگوریتم PID کنترل می شود و سیستم می تواند به سرعت توان خروجی لامپ هالوژن مادون قرمز را تنظیم کند و کنترل دما را دقیق تر کند.

ویژگی های محصول

1.گرمایش لامپ هالوژن مادون قرمز دو لایه، نیتروژن به سرعت خنک می شود.

2.لامپ های خود توسعه یافته در گروه ها مرتب می شوند تا یکنواختی دما را بهتر کنند.

3.کنترل شده توسط الگوریتم PID، توان خروجی لامپ در زمان واقعی تنظیم می شود.

4.حساب های کاربری به سه سطح مجوز برای تسهیل مدیریت اطلاعات تقسیم می شوند.

5.رابط اصلی نرم افزار می تواند گاز، دما، خلاء و سایر پارامترها را در زمان واقعی نمایش دهد.

6.سیستم به طور خودکار اطلاعات مربوط به هر فرآیند را ذخیره می کند.

7.شناسایی خودکار اطلاعات خطا و محافظت خودکار از دستگاه در صورت وجود یک ناهنجاری:

8.تشخیص گرمای بیش از حد: دمای آلیاژ آلومینیوم خنک شده با آب در محفظه حفره بیش از 70 درجه سانتیگراد است.

9.تشخیص ترموکوپل: در طول فرآیند سیستم، مقدار نظارت ترموکوپل با تنظیمات مطابقت ندارد.

10.تشخیص گرمایش: قدرت خروجی غیرعادی هنگام گرم شدن

11.تشخیص قفل درب کوره: آیا قفل درب قبل از هر فرآیند قفل شده است یا خیر

12.تشخیص گاز: فشار گاز از محدوده تنظیم شده فراتر می رود، فشار گاز خیلی بزرگ یا خیلی کوچک است

13.تشخیص جریان آب: دبی ورودی آب کمتر از مقدار پیش فرض است

14.تشخیص نشت آب: نشت آب تشخیص داده می شود

15.کلید توقف اضطراری: فوراً فرآیند را متوقف کرده و منبع گرما را قطع کنید

LRP-جدول-6 کاربردهای صنعتی

1.بازپخت IMP

2.بازپخت سریع پس از پوشش ITO

3.اکسیدها

4.رشد نیترید

5.آنیل آلیاژ سیلیسید

6.فرآیند آرسنید گالیم

7.آلیاژ تماس سریع اهمی

8.رفلاکس اکسیداسیون

9.سایر فرآیندهای عملیات حرارتی سریع نیمه هادی