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उत्पाद विवरण:
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| प्रकार: | परीक्षण मशीन | सटीकता वर्ग: | उच्च सटीकता |
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| शुद्धता: | --- | आवेदन: | ऑटो परीक्षण, प्रयोगशाला परीक्षण, प्रयोगशाला परीक्षण |
| अनुकूलित समर्थन: | ओईएम, ओडीएम, ओबीएम | शक्ति: | --- |
| संरक्षण वर्ग: | आईपी56 | वोल्टेज: | 220V विद्युत उपकरण |
| गारंटी: | 1 वर्ष | प्रोडक्ट का नाम: | टेबल टॉप रैपिड एनीलिंग भट्टी |
| वेफर आकार: | 6 इंच वेफर्स | डिवाइस फॉर्म फैक्टर: | 910मिमी*860मिमी*695मिमी(डब्ल्यू*डी*एच) |
| प्रमुखता देना: | 6-इंच के वेफर रैपिड एनीलिंग ओवन,उच्च परिशुद्धता प्रयोगशाला एनीलिंग ओवन,वेफर एनीलिंग ओवन वारंटी के साथ |
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टेबल टॉप रैपिड एनीलिंग फर्नेस 6-इंच वेफर रैपिड एनीलिंग फर्नेस उच्च परिशुद्धता वेफर रैपिड एनीलिंग ओवन
एलआरपी-टेबल-6 एक डेस्कटॉप 6-इंच वेफर रैपिड एनीलिंग फर्नेस है, जो थर्मल इन्सुलेशन के लिए आंतरिक क्वार्ट्ज कैविटी को गर्म करने के लिए ताप स्रोत के रूप में इन्फ्रारेड हैलोजन लैंप की दो परतों का उपयोग करता है, और कैविटी शेल पानी से ठंडा एल्यूमीनियम मिश्र धातु है, ताकि उत्पाद समान रूप से गर्म हो और सतह का तापमान कम हो।
एलआरपी-टेबल-6 को पीआईडी एल्गोरिदम द्वारा नियंत्रित किया जाता है, और सिस्टम इन्फ्रारेड हैलोजन लैंप की आउटपुट पावर को जल्दी से समायोजित कर सकता है, जिससे तापमान नियंत्रण अधिक सटीक हो जाता है।
1.डबल-लेयर इन्फ्रारेड हैलोजन लैंप हीटिंग, नाइट्रोजन जल्दी ठंडा;
2.तापमान की एकरूपता को बेहतर बनाने के लिए स्व-विकसित लैंप को समूहों में व्यवस्थित किया जाता है;
3.पीआईडी एल्गोरिदम द्वारा नियंत्रित, लैंप का पावर आउटपुट वास्तविक समय में समायोजित किया जाता है;
4.सूचना प्रबंधन की सुविधा के लिए उपयोगकर्ता खातों को अनुमतियों के तीन स्तरों में विभाजित किया गया है;
5.सॉफ़्टवेयर का मुख्य इंटरफ़ेस वास्तविक समय में गैस, तापमान, वैक्यूम और अन्य पैरामीटर प्रदर्शित कर सकता है;
6.सिस्टम स्वचालित रूप से प्रत्येक प्रक्रिया की प्रासंगिक जानकारी सहेजता है;
7.त्रुटि जानकारी को स्वचालित रूप से पहचानें, और कोई असामान्यता होने पर स्वचालित रूप से डिवाइस की सुरक्षा करें:
8.ओवरहीटिंग का पता लगाना: कैविटी हाउसिंग में पानी से ठंडा एल्यूमीनियम मिश्र धातु का तापमान 70 डिग्री सेल्सियस से अधिक है
9.थर्मोकपल का पता लगाना: सिस्टम प्रक्रिया के दौरान, थर्मोकपल मॉनिटरिंग मान सेटिंग से मेल नहीं खाता है
10.ताप का पता लगाना: गर्म होने पर असामान्य आउटपुट पावर
11।फर्नेस दरवाज़ा लॉक का पता लगाना: क्या प्रत्येक प्रक्रिया से पहले दरवाज़ा लॉक बंद है
12.गैस का पता लगाना: गैस का दबाव निर्धारित सीमा से अधिक है, गैस का दबाव बहुत बड़ा या बहुत छोटा है
13.जल प्रवाह का पता लगाना: जल प्रवेश प्रवाह दर डिफ़ॉल्ट मान से कम है
14.जल रिसाव का पता लगाना: जल रिसाव का पता लगाया गया है
15.आपातकालीन स्टॉप स्विच: प्रक्रिया को तुरंत रोकें और ताप स्रोत को काट दें
1.छोटा सा भूत एनीलिंग
2.आईटीओ कोटिंग के बाद तेजी से एनीलिंग
3.आक्साइड
4.नाइट्राइड वृद्धि
5.सिलिसाइड मिश्र धातु एनीलिंग
6.गैलियम आर्सेनाइड प्रक्रिया
7.ओमिक संपर्क तेज मिश्र धातु
8.ऑक्सीकरण भाटा
9.अन्य सेमीकंडक्टर रैपिड हीट ट्रीटमेंट प्रक्रियाएं
टेबल टॉप रैपिड एनीलिंग फर्नेस 6-इंच वेफर रैपिड एनीलिंग फर्नेस उच्च परिशुद्धता वेफर रैपिड एनीलिंग ओवन
तकनीकी विशिष्टता
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एलआरपी-तालिका-6 |
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वेफर का आकार |
6 इंच वेफर्स |
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डिवाइस फॉर्म फैक्टर |
910मिमी×860मिमी×695मिमी(डब्ल्यू× डी× एच) |
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ताप तापमान रेंज |
कमरे का तापमान ~~800℃(थर्मोकपल्स) 500℃~1200℃(इन्फ्रारेड पाइरोमीटर) |
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तापन दर |
150℃/एस सिंगल वेफर (क्वार्ट्ज ब्रैकेट की आवश्यकता है) 20℃/sसिलिकॉन कार्बाइड वाहक प्लेट |
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तापमान एकरूपता |
<600℃,≤±5℃ ≥600℃,≤±1% |
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तापमान नियंत्रण दोहराने योग्यता |
±2℃ |
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समय पकड़ |
अनुरोध पर प्रोग्राम करने योग्य |
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व्यक्ति से संपर्क करें: Kaitlyn Wang
दूरभाष: 19376687282
फैक्स: 86-769-83078748