Horno de temple rápido de sobremesa Horno de temple rápido para obleas de 6 pulgadas Horno de temple rápido de alta precisión para obleas

- ¿ Qué?RP-Table-6 es un horno de recocido rápido de obleas de escritorio de 6 pulgadas que utiliza dos capas de lámparas halógenas infrarrojas como fuente de calor para calentar la cavidad interna de cuarzo para aislamiento térmico,y la cáscara de la cavidad es de aleación de aluminio refrigerada por agua, de modo que el producto se calienta uniformemente y la temperatura de la superficie es baja.

- ¿ Qué?RP-Table-6 está controlado por algoritmo PID, y el sistema puede ajustar rápidamente la potencia de salida de la lámpara de halógeno infrarrojo, haciendo que el control de temperatura sea más preciso.

Características del producto

1.Calentamiento de la lámpara de halógenos infrarrojos de doble capa, refrigeración rápida del nitrógeno;

2.Las lámparas desarrolladas por el propio fabricante se dispondrán en grupos para mejorar la uniformidad de la temperatura;

3.Controlado por algoritmo PID, la potencia de salida de la lámpara se ajusta en tiempo real;

4.Las cuentas de usuario se dividen en tres niveles de permisos para facilitar la gestión de la información;

5.La interfaz principal del software puede mostrar en tiempo real los parámetros de gas, temperatura, vacío y otros parámetros;

6.El sistema guarda automáticamente la información pertinente de cada proceso.

7.Identificar automáticamente la información de error y proteger automáticamente el dispositivo cuando haya una anomalía:

8.Detección de sobrecalentamiento: La temperatura de la aleación de aluminio refrigerada por agua en la carcasa cavidad supera los 70 °C.

9.Detección del termoparejo: durante el proceso del sistema, el valor de monitorización del termoparejo no coincide con la configuración

10.Detección de calentamiento: potencia de salida anormal cuando se calienta

11.Detección del candado de la puerta del horno: si el candado de la puerta está cerrado antes de cada proceso

12.Detección de gas: la presión del gas excede el rango establecido, la presión del gas es demasiado grande o demasiado baja

13.Detección del caudal de agua: el caudal de entrada de agua es inferior al valor predeterminado

14.Detección de fugas de agua: se detecta una fuga de agua

15.Interruptor de parada de emergencia: detener inmediatamente el proceso y cortar la fuente de calor

- ¿ Qué?Cuadro RP-6 Aplicaciones en la industria

1.Anulación IMP

2.Anulación rápida después del recubrimiento ITO

3.los óxidos

4.Crecimiento de nitruro

5.Refrigerante de aleaciones de silicio

6.Proceso de arseniuro de galio

7.De aleación rápida de contacto ómico

8.Reflujo de oxidación

9.Otros procesos de tratamiento térmico rápido de semiconductores