کوره تبخیر سریع رومیزی کوره تبخیر سریع ویفر 6 اینچی کوره تبخیر سریع ویفر با دقت بالا

LRP-Table-6 یک اجاق گرم کردن سریع 6 اینچی است که از دو لایه از لامپ های هالوجن مادون قرمز به عنوان منبع گرما برای گرم کردن حفره داخلی کوارتز برای عایق حرارتی استفاده می کند.و پوسته حفره ای از آلیاژ آلومینیوم خنک شده با آب است، بنابراین محصول به طور مساوی گرم می شود و دمای سطح پایین است.

LRP-Table-6 توسط الگوریتم PID کنترل می شود و سیستم می تواند به سرعت قدرت خروجی لامپ هالوجن مادون قرمز را تنظیم کند و کنترل دما را دقیق تر کند.

ویژگی های محصول

1.گرمایش لامپ های هالوجنی دو لایه ی مادون قرمز، خنک شدن سریع نیتروژن

2.لامپ های توسعه یافته خود را در گروه ها قرار می دهند تا یکسانی درجه حرارت بهتر شود.

3.کنترل شده توسط الگوریتم PID، قدرت خروجی لامپ در زمان واقعی تنظیم می شود.

4.حساب های کاربر به سه سطح مجوز تقسیم می شوند تا مدیریت اطلاعات آسان تر شود.

5.رابط اصلی نرم افزار می تواند گاز، دمای، خلاء و سایر پارامترها را در زمان واقعی نشان دهد.

6.سیستم به طور خودکار اطلاعات مربوط به هر فرآیند را ذخیره می کند.

7.به طور خودکار اطلاعات خطا را شناسایی می کند و به طور خودکار دستگاه را در صورت وجود ناهنجاری محافظت می کند:

8.تشخیص گرم شدن بیش از حد: دمای آلیاژ آلومینیوم خنک شده با آب در محفظه حفره ای بیش از 70 °C است

9.تشخیص ترموپول: در طول فرآیند سیستم، ارزش نظارت ترموپول با تنظیمات مطابقت ندارد

10.تشخیص گرما: قدرت خروجی غیرطبیعی در هنگام گرم شدن

11.تشخیص قفل درب کوره: آیا قفل درب قبل از هر فرآیند قفل شده است

12.تشخیص گاز: فشار گاز بیش از محدوده تنظیم شده است، فشار گاز بیش از حد بزرگ یا خیلی کم است

13.تشخیص جریان آب: میزان جریان ورودی آب کمتر از مقدار پیش فرض است

14.تشخیص نشت آب: نشت آب تشخیص داده می شود

15.کلید توقف اضطراری: بلافاصله فرآیند را متوقف کنید و منبع گرما را قطع کنید

Lجدول 6 کاربردهای صنعتی

1.آنیلینگ IMP

2.گرم کردن سریع پس از پوشش ITO

3.اکسید ها

4.رشد نیترید

5.آبرسانش آلیاژ سیلیکید

6.فرآیند آرسنید گالیوم

7.آلیاژ سریع تماس اومی

8.ریفلوکس اکسیداسیون

9.سایر فرایندهای پردازش سریع حرارت نیمه هادی