| 유형: | 테스트 머신 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
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| 정확성: | --- | 애플리케이션: | 자동 테스트, 실험실 테스트, 실험실 테스트 |
| 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM | 힘: | --- |
| 보호 등급: | IP56 | 전압: | 220V 전기 장비 |
| 보증: | 1년 | 제품명: | 탁상용 급속 소둔로 |
| 웨이퍼 크기: | 6인치 웨이퍼 | 장치 폼 팩터: | 910mm*860mm*695mm(가로*세로*높이) |
| 강조하다: | 6인치 웨이퍼 급연 고방 오븐,고 정밀 웨이퍼 앙화 오븐,테이블 톱 급연 굽기 오븐 |
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테이블탑 급속 열처리로 6인치 웨이퍼 급속 열처리로 고정밀 웨이퍼 급속 열처리 오븐
LRP-Table-6은 2층의 적외선 할로겐 램프를 열원으로 사용하여 내부 석영 공동을 가열하여 단열하는 데스크탑 6인치 웨이퍼 급속 열처리로이며, 공동 쉘은 수냉식 알루미늄 합금으로 되어 있어 제품이 균일하게 가열되고 표면 온도가 낮습니다.
LRP-Table-6은 PID 알고리즘으로 제어되며, 시스템은 적외선 할로겐 램프의 출력 전력을 신속하게 조정하여 온도 제어를 더욱 정확하게 합니다.
1. 이중 적외선 할로겐 램프 가열, 질소 급속 냉각;
2. 자체 개발된 램프는 그룹으로 배열되어 온도 균일성을 향상시킵니다.
3. PID 알고리즘으로 제어되며, 램프의 전력 출력이 실시간으로 조정됩니다.
4. 사용자 계정은 정보 관리를 용이하게 하기 위해 세 가지 수준의 권한으로 나뉩니다.
5. 소프트웨어의 메인 인터페이스는 가스, 온도, 진공 및 기타 매개변수를 실시간으로 표시할 수 있습니다.
6. 시스템은 각 공정의 관련 정보를 자동으로 저장합니다.
7. 오류 정보를 자동으로 식별하고 이상 발생 시 장치를 자동으로 보호합니다.
8. 과열 감지: 공동 하우징의 수냉식 알루미늄 합금 온도가 70°C를 초과합니다.
9. 열전대 감지: 시스템 공정 중 열전대 모니터링 값이 설정과 일치하지 않습니다.
10. 가열 감지: 가열 시 비정상적인 출력 전력
11. 로 도어 잠금 감지: 각 공정 전에 도어 잠금이 잠겨 있는지 여부
12. 가스 감지: 가스 압력이 설정 범위를 초과하거나 가스 압력이 너무 크거나 작습니다.
13. 수류 감지: 입수 유량이 기본값보다 낮습니다.
14. 누수 감지: 누수가 감지되었습니다.
15. 비상 정지 스위치: 공정을 즉시 중지하고 열원을 차단합니다.
1. IMP 어닐링
2. ITO 코팅 후 급속 어닐링
3. 산화물
4. 질화물 성장
5. 실리사이드 합금 어닐링
6. 갈륨 비소 공정
7. 옴 접촉 급속 합금
8. 산화 리플럭스
9. 기타 반도체 급속 열처리 공정
테이블탑 급속 열처리로 6인치 웨이퍼 급속 열처리로 고정밀 웨이퍼 급속 열처리 오븐
기술 사양
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LRP-Table-6 |
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웨이퍼 크기 |
6인치 웨이퍼 |
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장치 폼 팩터 |
910mm×860mm×695mm(W× D× H) |
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가열 온도 범위 |
상온~800°C(열전대) 500°C~1200°C(적외선 온도계) |
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가열 속도 |
150°C/s 단일 웨이퍼(석영 브래킷 필요) 20°C/s 실리콘 카바이드 캐리어 플레이트 |
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온도 균일성 |
<600°C,≤±5°C
≥600°C,≤±1% |
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온도 제어 반복성 |
±2°C |
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유지 시간 |
요청 시 프로그래밍 가능 |
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
Korean
