Tafeltop Rapid Annealing Oven 6 inch Wafer Rapid Annealing Oven High Precision Wafer Rapid Annealing Oven

LRP-Table-6 is een desktop 6-inch wafer snel gloeiende oven die twee lagen infrarood halogeenlampen gebruikt als warmtebron om de interne kwartsholte te verwarmen voor thermische isolatie,en de holte is een watergekoelde aluminiumlegering, zodat het product gelijkmatig wordt verwarmd en de oppervlaktetemperatuur laag is.

LRP-Table-6 wordt bestuurd door PID-algoritme en het systeem kan snel het uitgangsvermogen van de infraroodhalogeenlamp aanpassen, waardoor de temperatuurcontrole nauwkeuriger wordt.

Productkenmerken

1.dubbellagige infraroodhalogeenlampverwarming, snel afkoelende stikstof;

2.De zelf ontwikkelde lampen worden in groepen gerangschikt om de temperatuur gelijkmatiger te maken;

3.Beheerd door PID-algoritme, wordt het vermogen van de lamp in realtime ingesteld;

4.Gebruikersaccounts zijn onderverdeeld in drie niveaus van machtigingen om het beheer van informatie te vergemakkelijken;

5.De hoofdinterface van de software kan gas-, temperatuur-, vacuüm- en andere parameters in realtime weergeven;

6.Het systeem slaat automatisch de relevante informatie van elk proces op;

7.Automatisch identificeren van foutinformatie en automatisch beschermen van het apparaat bij afwijkingen:

8.Oververhitting: de temperatuur van de met water gekoelde aluminiumlegering in de holte van de behuizing is hoger dan 70°C

9.Detectie van het thermocouple: tijdens het systeemproces komt de waarde van de thermocouple-monitoring niet overeen met de instelling

10.Verwarmingsdetectie: abnormaal uitgangsvermogen bij verwarming

11.Detectie van de deurvergrendeling van de oven: of de deurvergrendeling vóór elk proces is vergrendeld

12.Gasdetectie: de gasdruk overschrijdt het ingestelde bereik, de gasdruk is te groot of te klein

13.Waterstroomdetectie: de waterinlaatstroom is lager dan de standaardwaarde

14.Waterlekken detectie: waterlekken worden gedetecteerd

15.Noodstopknop: onmiddellijk het proces stoppen en de warmtebron afsnijden

LRP-tabel-6 Toepassingen in de industrie

1.IMP-opgloeiing

2.Snel gloeien na ITO-coating

3.oxiden

4.Nitride-groei

5.Verwarming van siliciumlegeringen

6.Galliumarsenideproces

7.met een breedte van niet meer dan 50 mm

8.Oxidatie-reflux

9.andere halfgeleiders met een snel warmtebehandelingsproces