Настольная печь для быстрого отжига, печь для быстрого отжига кремниевых пластин 6 дюймов, высокоточная печь для быстрого отжига кремниевых пластин

LRP-Table-6 — это настольная печь для быстрой отжига 6-дюймовых подложек, которая использует два слоя инфракрасных галогенных ламп в качестве источника тепла для нагрева внутренней кварцевой камеры для теплоизоляции, а корпус камеры выполнен из водоохлаждаемого алюминиевого сплава, что обеспечивает равномерный нагрев продукта и низкую температуру поверхности.

LRP-Table-6 управляется алгоритмом ПИД-регулирования, и система может быстро регулировать выходную мощность инфракрасных галогенных ламп, делая контроль температуры более точным.

Особенности продукта

1. Двухслойный инфракрасный галогенный ламповый нагрев, быстрое охлаждение азотом;

2. Саморазработанные лампы расположены группами для лучшей равномерности температуры;

3. Управляется алгоритмом ПИД-регулирования, выходная мощность лампы регулируется в реальном времени;

4. Учетные записи пользователей разделены на три уровня разрешений для упрощения управления информацией;

5. Основной интерфейс программного обеспечения может отображать в реальном времени такие параметры, как газ, температура, вакуум и другие;

6. Система автоматически сохраняет соответствующую информацию о каждом процессе;

7. Автоматически идентифицирует информацию об ошибках и автоматически защищает устройство при возникновении аномалии:

8. Обнаружение перегрева: Температура водоохлаждаемого алюминиевого сплава в корпусе камеры превышает 70°C

9. Обнаружение термопары: Во время системного процесса значение мониторинга термопары не соответствует заданному

10. Обнаружение нагрева: Аномальная выходная мощность при нагреве

11. Обнаружение блокировки дверцы печи: заблокирована ли дверца перед каждым процессом

12. Обнаружение газа: давление газа превышает заданный диапазон, давление газа слишком велико или слишком мало

13. Обнаружение расхода воды: Расход воды на входе ниже заданного значения

14. Обнаружение утечки воды: Обнаружена утечка воды

15. Кнопка аварийной остановки: Немедленно остановить процесс и отключить источник тепла

LRP-Table-6 Промышленное применение

1. Отжиг IMP

2. Быстрый отжиг после нанесения покрытия ITO

3. оксиды

4. Рост нитридов

5. Отжиг силицидных сплавов

6. Процесс с арсенидом галлия

7. Быстрый сплав омического контакта

8. Окислительная рефлюксная обработка

9. Другие процессы быстрой термической обработки полупроводников