Tabellenobergrenze Schnellbrennöfen 6-Zoll Wafer Schnellbrennöfen Hochpräzisions Wafer Schnellbrennöfen

LRP-Table-6 ist ein Tisch-Schnellglühofen für 6-Zoll-Wafer, der zwei Schichten von Infrarot-Halogenlampen als Wärmequelle verwendet, um den inneren Quarzhohlraum zur Wärmeisolierung zu beheizen. Die Hohlraumschale besteht aus wassergekühlter Aluminiumlegierung, sodass das Produkt gleichmäßig erhitzt wird und die Oberflächentemperatur niedrig ist.

LRP-Table-6 wird über einen PID-Algorithmus gesteuert, und das System kann die Ausgangsleistung der Infrarot-Halogenlampe schnell anpassen, wodurch die Temperaturregelung genauer wird.

Produktmerkmale

1. Doppelschichtige Infrarot-Halogenlampenheizung, schnelle Stickstoffkühlung;

2. Selbstentwickelte Lampen sind gruppenweise angeordnet, um die Temperaturuniformität zu verbessern;

3. Gesteuert durch PID-Algorithmus, wird die Leistung der Lampe in Echtzeit angepasst;

4. Benutzerkonten sind in drei Berechtigungsstufen unterteilt, um die Informationsverwaltung zu erleichtern;

5. Die Hauptoberfläche der Software kann Gas-, Temperatur-, Vakuum- und andere Parameter in Echtzeit anzeigen;

6. Das System speichert automatisch die relevanten Informationen jedes Prozesses;

7. Automatische Erkennung von Fehlerinformationen und automatischer Schutz des Geräts bei Auffälligkeiten:

8. Überhitzungserkennung: Die Temperatur der wassergekühlten Aluminiumlegierung im Hohlraumgehäuse überschreitet 70°C

9. Thermoelementerkennung: Während des Systemprozesses stimmt der Überwachungswert des Thermoelements nicht mit der Einstellung überein

10. Heizungserkennung: Ungewöhnliche Ausgangsleistung beim Heizen

11. Türverriegelungserkennung: Ob die Türverriegelung vor jedem Prozess verriegelt ist

12. Gaserkennung: Gasdruck überschreitet den eingestellten Bereich, Gasdruck ist zu hoch oder zu niedrig

13. Wasserdurchflusserkennung: Der Wassereinlassdurchfluss ist niedriger als der Standardwert

14. Wasserleckerkennung: Wasserleckage erkannt

15. Not-Aus-Schalter: Sofortiger Stopp des Prozesses und Abschalten der Wärmequelle

LRP-Table-6 Industrieanwendungen

1. IMP-Glühen

2. Schnellglühen nach ITO-Beschichtung

3. Oxide

4. Nitridwachstum

5. Siliziumlegierungsglühen

6. Galliumarsenid-Prozess

7. Ohm'scher Kontakt Schnelllegierung

8. Oxidationsrückfluss

9. Andere Halbleiter-Schnellwärmebehandlungsprozesse