Four à recuit rapide de paillasse, four à recuit rapide pour plaquettes de 6 pouces, four à recuit rapide de haute précision pour plaquettes

LLe RP-Table-6 est un four de recuit rapide pour plaquettes de 6 pouces de bureau, qui utilise deux couches de lampes halogènes infrarouges comme source de chaleur pour chauffer la cavité en quartz interne pour l'isolation thermique, et la coque de la cavité est en alliage d'aluminium refroidi par eau, de sorte que le produit est chauffé uniformément et que la température de surface est basse.

LLe RP-Table-6 est contrôlé par un algorithme PID, et le système peut ajuster rapidement la puissance de sortie de la lampe halogène infrarouge, rendant le contrôle de la température plus précis.

Caractéristiques du produit

1. Chauffage par lampe halogène infrarouge à double couche, refroidissement rapide à l'azote ;

2. Les lampes auto-développées sont disposées en groupes pour améliorer l'uniformité de la température ;

3. Contrôlé par un algorithme PID, la puissance de sortie de la lampe est ajustée en temps réel ;

4. Les comptes utilisateurs sont divisés en trois niveaux de permissions pour faciliter la gestion des informations ;

5. L'interface principale du logiciel peut afficher en temps réel des paramètres tels que le gaz, la température, le vide, etc. ;

6. Le système enregistre automatiquement les informations pertinentes de chaque processus ;

7. Identification automatique des informations d'erreur et protection automatique de l'appareil en cas d'anomalie :

8. Détection de surchauffe : La température de l'alliage d'aluminium refroidi par eau dans le boîtier de la cavité dépasse 70°C

9. Détection de thermocouple : Pendant le processus du système, la valeur de surveillance du thermocouple ne correspond pas au réglage

10. Détection de chauffage : Puissance de sortie anormale lors du chauffage

11. Détection de verrouillage de la porte du four : si la porte est verrouillée avant chaque processus

12. Détection de gaz : la pression du gaz dépasse la plage définie, la pression du gaz est trop élevée ou trop basse

13. Détection de débit d'eau : Le débit d'entrée d'eau est inférieur à la valeur par défaut

14. Détection de fuite d'eau : Fuite d'eau détectée

15. Bouton d'arrêt d'urgence : Arrête immédiatement le processus et coupe la source de chaleur

LRP-Table-6 Applications industrielles

1. Recuit IMP

2. Recuit rapide après revêtement ITO

3. Oxydes

4. Croissance de nitrures

5. Recuit d'alliages de siliciures

6. Procédé à l'arséniure de gallium

7. Alliage rapide de contact ohmique

8. Reflux d'oxydation

9. Autres processus de traitement thermique rapide des semi-conducteurs