LONROY ICP06 Indukcyjnie sprzężona maszyna do wytrawiania plazmowego ICP Laboratorium do wytrawiania plazmowego System przetwarzania wytrawiania ICP+RIE

LONROY ICP06 Indukcyjnie sprzężona maszyna do wytrawiania plazmowego ICP Aparatura do wytrawiania plazmowego Laboratorium ICP + RIE System przetwarzania wytrawiania

I. Przegląd sprzętu

System wytrawiania plazmą sprzężoną indukcyjnie ICP06 (ICP+RIE) wykorzystuje głównie fluor

gazy na bazie gazów w połączeniu z tlenem i argonem. Poprzez synergistyczne działanie sprzężenia indukcyjnego

wyładowania pojemnościowego i wyładowania sprzężenia o częstotliwości radiowej, w reakcji wytwarzana jest plazma

izba. Powstałe reaktywne wolne rodniki reagują chemicznie na powierzchni folii, będąc jednocześnie lotnymi

produkty uboczne są usuwane wraz ze spalinami, a naładowane jony fizycznie bombardują powierzchnię folii.

Te dwa mechanizmy wzajemnie poprawiają wydajność trawienia, aby osiągnąć optymalną morfologię błony.

1.1 Zasada działania:

Wytrawiacz ICP umożliwia precyzyjne trawienie na sucho za pomocą plazmy sprzężonej indukcyjnie

technologię, która działa na podstawowej zasadzie wykorzystania elektromagnesu o wysokiej częstotliwości

pole etyczne wzbudzające jonizację gazu i tworzące plazmę, w połączeniu z reaktywnymi gazami jako materiałem

akwaforta. W szczególności źródło zasilania o wysokiej częstotliwości (zwykle 13,56 MHz) jest stosowane naprzemiennie

prąd do cewki indukcyjnej, generując zmienne w czasie pole magnetyczne, które jonizuje gazy obojętne, takie jak

argon do produkcji plazmy. W komorze reakcyjnej plazma o dużej gęstości reaguje z gazami

jak CF4 i SF6, umożliwiające trawienie materiałów zarówno poprzez bombardowanie fizyczne, jak i chemiczne

reakcje.

Podczas procesu trawienia plazma sprzężona indukcyjnie kontroluje gęstość plazmy, podczas gdy

plazma sprzężona pojemnościowo reguluje energię jonów, umożliwiając precyzyjne dostosowanie plazmy do

modyfikować zarówno morfologię, jak i szybkość trawienia.

Materiały podłoża odpowiednie do trawienia maszyną do trawienia zależą od rodzaju plazmy

zatrudniony; tylko te materiały, które mogą reagować z określonymi jonami w plazmie, tworząc substancje lotne

związki mogą ulegać szybkiemu i skutecznemu trawieniu. W zależności od rodzaju gazu procesowego, trawienie

Metody są ogólnie podzielone na trawienie tlenowe, fluorowe i chlorowe.

Sprzęt ten został specjalnie zaprojektowany do procesów trawienia gazowego na bazie fluoru lub mniej korozyjnych.

Technologia ta łączy w sobie cechy trawienia plazmowego i trawienia jonami reaktywnymi,

oferując takie zalety, jak praca pod niskim ciśnieniem i wysoka gęstość plazmy.

1.2 Cechy produktu:

1,Komora próżniowa ze stopu aluminium, wyprodukowana poprzez integralne formowanie z doskonałymi właściwościami uszczelniającymi

doskonała odporność na korozję.

2,Wyładowania sprzężone czułie i wyładowania pojemnościowe sprzężone częstotliwością radiową współpracują ze sobą (lub mogą być używane oddzielnie).

3,Interfejs ekranu dotykowego z przyjaznym dla użytkownika sterowaniem i wyświetlaniem parametrów procesu w czasie rzeczywistym

4,Przechowuj wiele wpisów danych formuł procesu; odzyskaj je w razie potrzeby. Dane są identyfikowalne.

5,Wyposażony w 6 niezależnych kanałów gazowych, ułatwiających badanie wpływu różnych proporcji gazu na czyszczenie

skuteczność.

6,Etap trawienia urządzenia jest wyposażony w mechanizm podnoszący i można go regulować na różnych wysokościach za pomocą gazów o różnym stężeniu, aby uzyskać optymalną wydajność procesu.

1.3 Główne zastosowania:

1. Produkcja półprzewodników: trawienie aluminium/wolframu i wytwarzanie mocy GaN

urządzenia.

2. Urządzenia MEMS: Wytwarzanie mikrostruktur sensorowych.

3. Urządzenia optoelektroniczne: Trawienie diod LED na bazie GaN.

4. Dziedzina badawcza: Precyzyjne trawienie warstwami atomowymi materiałów dwuwymiarowych

Schematy wymiarów zewnętrznych sprzętu i wnęki wewnętrznejS

 Standardowe akcesoria

]

LONROY ICP06 Maszyna do trawienia plazmowego ze sprzężeniem indukcyjnym Laboratorium aparatury do wytrawiania plazmowego ICP System przetwarzania wytrawiania ICP+RIE

Specyfikacja techniczna