LONROY ICP06 آلة حفر البلازما المزدوجة بشكل استقرائي جهاز حفر البلازما مختبر ICP+RIE نظام معالجة الحفر

LONROY ICP06 آلة حفر البلازما المزدوجة بشكل استقرائي جهاز حفر البلازما مختبر ICP+RIE نظام معالجة الحفر

نظرة عامة على المعدات

يستخدم نظام ICP06 للحفر البلازما المزدوج بالتحفيز (ICP+RIE) في المقام الأول الفلور

من خلال العمل التآزري للاتصال الاستقراضي

تفريغ وتفريغ ربط تردد الراديو السعة، يتم توليد البلازما داخل التفاعل

الجذور الحرة التفاعلية الناتجة تتفاعل كيميائيا على سطح الفيلم، في حين

يتم إزالة المنتجات الجانبية عن طريق غاز العادم، والأيونات المشحونة قصف سطح الفيلم.

هذه الآليتين تعزز أداء الحفر بشكل متبادل لتحقيق مورفولوجية فيلم مثالية.

1مبدأ العمل:

يحقق حفر ICP حفر جاف عالي الدقة من خلال البلازما المزدوجة بشكل استقرائي

تكنولوجيا تعمل على المبدأ الأساسي لاستخدام مغناطيس كهربائي عالي التردد

المجال النووي لتحفيز تجزئة الغازات وتشكيل البلازما، جنبا إلى جنب مع الغازات التفاعلية للمادة

تحديدًا مصدر طاقة عالي التردد (عادةً 13.56 ميغاهرتز)

التيار إلى لفائف الحث، وتوليد مجال مغناطيسي متغير في الزمن الذي يقيس الغازات الخاملة مثل

في غرفة التفاعل، يتفاعل هذا البلازما عالي الكثافة مع الغازات

مثل CF4 و SF6، مما يتيح حفر المواد من خلال القصف الفيزيائي والكيميائي

ردود الفعل

أثناء عملية الحفر ، يسيطر البلازما المزدوجة بشكل استقرائي على كثافة البلازما ، في حين

البلازما المزدوجة بكفاءة تنظم طاقة الأيونات، مما يتيح ضبط الدقة للبلازما

تعديل كل من تشكيل الحفر ومعدل.

مواد الركيزة المناسبة للحفر بواسطة آلة الحفر تعتمد على نوع البلازما

تستخدم فقط تلك المواد القادرة على التفاعل مع أيونات محددة في البلازما لتشكيل مواد متقلبة

يمكن للمركبات أن تخضع لحفرة سريعة وفعالة.

يتم تصنيف الطرق بشكل عام إلى الحفر القائم على الأكسجين والفلور والكلور.

هذه المعدات مصممة خصيصًا لعمليات الحفر الغازي القائمة على الفلور أو الأقل تآكلًا.

هذه التكنولوجيا تجمع بين خصائص حفر البلازما وحفر الأيونات التفاعلية

يقدم مزايا مثل التشغيل بضغط منخفض وكثافة البلازما العالية.

1.2 خصائص المنتج:

1,غرفة فراغ من سبيكة الألومنيوم، المصنوعة من خلال صب متكامل مع أداء ختم ممتاز

مقاومة التآكل العالية

2,التفريغ المرتبط بالحساسية والتفريغ المرتبط بالترددات الراديوية السعة يعملان معًا (أو يمكن استخدامهما بشكل منفصل).

3,واجهة شاشة تعمل باللمس مع أدوات تحكم سهلة الاستخدام وعرض في الوقت الحقيقي لمعلمات العملية

4,تخزين إدخالات بيانات صيغة العملية المتعددة ؛ استردادها حسب الحاجة. يمكن تتبع البيانات.

5,مجهزة بـ 6 قنوات غاز مستقلة، مما يسهل التحقيق في كيفية تأثير نسبة الغاز المختلفة على التنظيف

الفعالية.

6,يحتوي مرحلة حفر الجهاز على آلية رفع ويمكن ضبطها إلى ارتفاعات مختلفة باستخدام غازات بتركيزات مختلفة لأداء عملية مثالي.

1.3 التطبيقات الرئيسية:

1تصنيع أشباه الموصلات: حفر الألومنيوم/التونغستين المعدني، وتصنيع طاقة GaN

الأجهزة

2أجهزة MEMS: تصنيع الهياكل الدقيقة للمستشعرات.

3أجهزة الأجهزة الإلكترونية الضوئية: حفر مصابيح LED القائمة على GaN.

4مجال البحث: حفرة الدقة الطبقة الذرية للمواد ثنائية الأبعاد

مخططات الأبعاد الخارجية للمعدات والجوف الداخليs

 الملحقات القياسية

]

LONROY ICP06 آلة حفر البلازما المزدوجة بشكل استقرائي جهاز حفر البلازما مختبر ICP+RIE نظام معالجة الحفر

المواصفات التقنية