Zintegrowany czujnik

Zakres pomiarowy osi Z1

20 mm

Rozstrzygnięcie Z1

1.2nm

Dokładność konturów

Z1 Dokładność liniowa

≤±(0,5+ 0,02H) μm

Łuk okrągły

±(1 + R/12) μm

Pt łuku okrągłego

≤ 0,3 μm

Kąt

±1′

Prostota (Długość fali odcięcia 0,8 mm)

00,3 mm/100 mm

Dokładność grubości

Dokładność wskazania

≤ ± 6 nm + 2,5%)

Hałas pozostałości

≤ 0,006 μm

Powtarzalność

1δ≤1nm

Długość fali ograniczona

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm

Długość oceny

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Prędkość jazdy

Tryb jazdy osi X

Elektryczne

Tryb jazdy w osi Y

Elektryczne

Rozmiary marmuru

500 mm × 800 mm

Materiał na stole

Marmur naturalny