Интегрированный датчик

Диапазон измерения по оси Z1

20 мм

Разрешение по оси Z1

1,2 нм

Точность контура

Линейная точность по оси Z1

≤±(0,5+|0,02H|)μм

Круговая дуга

±(1 + R/12)μм

Круговая дуга Pt

≤0,3μм

Угол

±1′

Прямолинейность (длина волны отсечки 0,8 мм)

0,3 мкм/100 мм

Точность шероховатости

Точность индикации

≤±(6 нм + 2,5%)

Остаточный шум

≤0,006μм

Повторяемость

1δ≤1 нм

Длина волны отсечки

0,025, 0,08, 0,25, 0,8, 2,5, 8 мм

Длина оценки

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Скорость привода

Режим привода по оси X

Электрический

Режим привода по оси Y

Электрический

Размеры мрамора

500 мм × 800 мм

Материал столешницы

Натуральный мрамор