Integrierter Sensor

Z1-Achsen-Messbereich

20 mm

Z1 Auflösung

1,2 nm

Konturgenauigkeit

Z1 Linearitätsgenauigkeit

≤±(0,5+|0,02H|)μm

Kreisbogen

±(1 + R/12)μm

Kreisbogen Pt

≤0,3μm

Winkel

±1′

Geradheit (Cut-off-Wellenlänge 0,8 mm)

0,3 um/100 mm

Rauheitsgenauigkeit

Anzeigegenauigkeit

≤±(6 nm + 2,5%)

Restrauschen

≤0,006μm

Wiederholbarkeit

1δ≤1 nm

Cut-off-Wellenlänge

0,025, 0,08, 0,25, 0,8, 2,5, 8 mm

Auswertungslänge

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Antriebsgeschwindigkeit

X-Achsen-Antriebsmodus

Elektrisch

Y-Achsen-Antriebsmodus

Elektrisch

Marmorabmessungen

500 mm × 800 mm

Tischplattenmaterial

Natürlicher Marmor