Sensor Integrado

Rango de Medición del Eje Z1

20mm

Resolución Z1

1.2nm

Precisión del Contorno

Precisión Lineal Z1

≤±(0.5+|0.02H|)μm

Arco Circular

±(1 + R/12)μm

Pt de Arco Circular

≤0.3μm

Ángulo

±1′

Rectitud (Longitud de Onda de Corte 0.8mm)

0.3um/100mm

Precisión de Rugosidad

Precisión de Indicación

≤±(6nm + 2.5%)

Ruido Residual

≤0.006μm

Repetibilidad

1δ≤1nm

Longitud de Onda de Corte

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm

Longitud de Evaluación

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Velocidad de Desplazamiento

Modo de Desplazamiento del Eje X

Eléctrico

Modo de Desplazamiento del Eje Y

Eléctrico

Dimensiones de Mármol

500mm × 800mm

Material de la Mesa

Mármol Natural