|
รายละเอียดสินค้า:
|
| Angle: | ±1′ | Residual Noise: | ≤0.006μm |
|---|---|---|---|
| Indication Accuracy: | ≤±(6nm + 2.5%) | Warranty: | 1year |
| Marble Dimensions: | 500mm × 800mm | Repeatability: | 1δ≤1nm |
| เน้น: | เครื่องทดสอบความหยาบของผิวด้วยเครื่องตรวจวงจร,เครื่องวิเคราะห์เส้นผ่ากรุณาที่บูรณาการ,เครื่องวิเคราะห์ XRF สําหรับการวัดพื้นผิว |
||
เครื่องจักรแบบบูรณาการสำหรับการวัดรูปร่างความขรุขระ ซึ่งใช้เทคโนโลยีการเก็บข้อมูลแบบเดียวโดยไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเซ็นเซอร์ ทำให้สามารถวัดขนาด รูปร่าง ความเป็นคลื่น และความขรุขระได้อย่างครอบคลุมและแม่นยำ ซึ่งไม่เพียงแต่ช่วยลดความซับซ้อนของขั้นตอนการทำงานและเพิ่มประสิทธิภาพในการวัดเท่านั้น แต่ยังช่วยให้มั่นใจได้ถึงความถูกต้องและสอดคล้องกันของผลการวัดอีกด้วย
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
|
เซ็นเซอร์แบบบูรณาการ |
ช่วงการวัดแกน Z1 |
20 มม. |
|
|
ความละเอียด Z1 |
1.2 นาโนเมตร |
|
ความแม่นยำของรูปร่าง |
ความแม่นยำเชิงเส้น Z1 |
≤±(0.5+|0.02H|)μm |
|
|
ส่วนโค้งวงกลม |
±(1 + R/12)μm |
|
|
Pt ส่วนโค้งวงกลม |
≤0.3μm |
|
|
มุม |
±1′ |
|
|
ความตรง (ความยาวคลื่นตัด 0.8 มม.) |
0.3um/100mm |
|
ความแม่นยำของความขรุขระ |
ความแม่นยำในการบ่งชี้ |
≤±(6nm + 2.5%) |
|
|
สัญญาณรบกวนที่เหลือ |
≤0.006μm |
|
|
ความสามารถในการทำซ้ำ |
1δ≤1nm |
|
|
ความยาวคลื่นตัด |
0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 มม. |
|
|
ความยาวการประเมินผล |
λC×2, 3, 4, 5, 6, 7 |
|
ความเร็วในการขับเคลื่อน |
โหมดการขับเคลื่อนแกน X |
ไฟฟ้า |
|
|
โหมดการขับเคลื่อนแกน Y |
ไฟฟ้า |
|
ขนาดหินอ่อน |
500 มม. × 800 มม. |
|
|
วัสดุโต๊ะ |
หินอ่อนธรรมชาติ |
|
ผู้ติดต่อ: Ms. Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748
