Sensor terintegrasi

Jangkauan pengukuran sumbu Z1

20 mm

Resolusi Z1

1.2nm

Keakuratan Kontur

Z1 Keakuratan linier

≤±(0,5+ 0,02H)

Busur lingkaran

± ((1 + R/12) μm

Lemparan lingkaran Pt

≤ 0,3 μm

Sudut

± 1′

Kejujuran (panjang gelombang pemotongan 0,8mm)

0.3um/100mm

Keakuratan Kerontokan

Keakuratan Indikasi

≤ ± 6 nm + 2,5%)

Kebisingan Sisa

≤ 0,006μm

Kemungkinan diulang

1δ≤1nm

Panjang gelombang pemotongan

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm

Panjang Evaluasi

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Kecepatan Mengemudi

Mode Mengemudi sumbu X

Listrik

Mode Mengemudi sumbu Y

Listrik

Dimensi Marmer

500 mm × 800 mm

Bahan Meja

Marmer Alam