Sensore Integrato

Campo di Misurazione Asse Z1

20mm

Risoluzione Z1

1.2nm

Accuratezza del Contorno

Accuratezza Lineare Z1

≤±(0.5+|0.02H|)μm

Arco Circolare

±(1 + R/12)μm

Pt Arco Circolare

≤0.3μm

Angolo

±1′

Rettilineità (Lunghezza d'onda di taglio 0.8mm)

0.3um/100mm

Accuratezza della Rugosità

Accuratezza di Indicazione

≤±(6nm + 2.5%)

Rumore Residuo

≤0.006μm

Ripetibilità

1δ≤1nm

Lunghezza d'onda di Taglio

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm

Lunghezza di Valutazione

λC×2, 3, 4, 5, 6, 7

Velocità di Traslazione

Modalità di Traslazione Asse X

Elettrica

Modalità di Traslazione Asse Y

Elettrica

Dimensioni del Marmo

500mm × 800mm

Materiale del Piano

Marmo Naturale