| マシンタイプ: | デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーター | 電圧: | 220V |
|---|---|---|---|
| 電力(ワット): | 2000年 | 寸法(長さ*幅*高さ): | 710*480*580 |
| 保証: | 1年 | 重量(kg): | 100 |
| ハイライト: | ステンレス製マグネトロンスパッタコーター,デュアルターゲットスパッタコーティングテスター,磁気制御成膜システム |
||
カテゴリ | アイテム | 仕様 | |
製品名 | ステンレススチールチャンバー付きベンチトップデュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーター | ||
モデル | LR-CK103 | ||
サンプルステージ | 寸法 | φ100mm | |
回転速度の調整可能 | ≤20rpm | ||
マグネトロンターゲットガン | 2 インチのマグネトロン ターゲットを 2 つ装備。ターゲット寸法: 直径 50.8 mm、厚さ ≤ 3 mm | ||
真空チャンバー | チャンバーの寸法 | φ273mm×280mm | |
観察窓 | 正面向き | ||
チャンバーの材質 | 304 ステンレス鋼 | ||
開閉機構 | 上蓋と前扉 | ||
真空システム | 荒引きポンプ | 二段ロータリーベーンポンプ | |
分子ポンプ | 高速ターボ分子ポンプ | ||
真空測定 | 複合真空計 | ||
真空ポート | ISO63 | ||
排気ポート | KF16 | ||
システム到達真空度 | 1.0×10⁻⁴Pa | ||
電源 | AC220V、50/60Hz | ||
排気速度 | 粗引きポンプ速度: 1.1 L/s | ||
出力電力 | DC電源：500W | ||
その他のパラメータ | 入力電圧 | AC220V、50Hz | |
総システム電力 | 2kW | ||
全体の寸法 | 710×480×580mm | ||
コンタクトパーソン: Kaitlyn Wang
電話番号: 19376687282
ファックス: 86-769-83078748
Japanese
