| 기계 유형: | 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 | 전압: | 220V |
|---|---|---|---|
| 전력(w): | 2000 | 치수(l*w*h): | 710*480*580 |
| 보증: | 1년 | 체중(kg): | 100 |
| 강조하다: | 스테인리스 스틸 마그네트론 스프터링 코팅,이중 타겟 스프터 코팅 테스트,자석으로 제어되는 퇴적 시스템 |
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카테고리 | 항목 | 사양 | |
제품명 | 스테인리스 스틸 챔버가 있는 벤치탑 듀얼 타겟 마그네트론 스퍼터 코터 | ||
모델 | LR-CK103 | ||
샘플 스테이지 | 치수 | φ100 mm | |
조절 가능한 회전 속도 | ≤20 rpm | ||
마그네트론 타겟 건 | 2개의 2인치 마그네트론 타겟 장착; 타겟 치수: 직경 50.8mm, 두께 ≤3mm | ||
진공 챔버 | 챔버 치수 | φ273 mm × 280 mm | |
관찰 창 | 전면 | ||
챔버 재질 | 304 스테인리스 스틸 | ||
개방 메커니즘 | 상단 덮개 및 전면 도어 | ||
진공 시스템 | 거친 펌프 | 2단 로터리 베인 펌프 | |
분자 펌프 | 고속 터보 분자 펌프 | ||
진공 측정 | 복합 진공 게이지 | ||
진공 포트 | ISO63 | ||
배기 포트 | KF16 | ||
시스템 최종 진공 | 1.0 × 10⁻⁴ Pa | ||
전원 공급 장치 | AC 220V, 50/60 Hz | ||
펌핑 속도 | 거친 펌프 속도: 1.1 L/s | ||
출력 전력 | DC 전원 공급 장치: 500 W | ||
기타 매개변수 | 입력 전압 | AC 220V, 50 Hz | |
총 시스템 전력 | 2 kW | ||
전체 치수 | 710 × 480 × 580 mm | ||
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
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