|
รายละเอียดสินค้า:
|
| ประเภทเครื่อง: | เครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งเป้าหมายคู่ | แรงดันไฟฟ้า: | 220 โวลต์ |
|---|---|---|---|
| กำลัง(ญ): | 2000 | ขนาด (ล*ก*ส): | 710*480*580 |
| การรับประกัน: | 1 ปี | น้ำหนัก (กก.): | 100 |
| เน้น: | เครื่องเคลือบสปัตเตอริงแบบแม่เหล็กสแตนเลส,เครื่องทดสอบการเคลือบสปัตเตอร์แบบสองเป้าหมาย,ระบบเคลือบแบบควบคุมด้วยแม่เหล็ก |
||
หมวดหมู่ | รายการ | ข้อมูลจำเพาะ | |
ชื่อผลิตภัณฑ์ | เครื่องเคลือบสปัตเตอริงแบบแม่เหล็กสองเป้าแบบตั้งโต๊ะพร้อมช่องสแตนเลส | ||
รุ่น | LR-CK103 | ||
แท่นวางตัวอย่าง | ขนาด | φ100 มม. | |
ความเร็วรอบหมุนปรับได้ | ≤20 รอบต่อนาที | ||
ปืนเป้าหมายแม่เหล็ก | ติดตั้งเป้าหมายแม่เหล็กขนาด 2 นิ้วสองตัว ขนาดเป้าหมาย: เส้นผ่านศูนย์กลาง 50.8 มม. ความหนา ≤3 มม. | ||
ช่องสุญญากาศ | ขนาดช่อง | φ273 มม. × 280 มม. | |
หน้าต่างสังเกต | หันหน้าไปทางด้านหน้า | ||
วัสดุช่อง | สแตนเลส 304 | ||
กลไกการเปิด | ฝาบนและประตูหน้า | ||
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มสุญญากาศหยาบ | ปั๊มแบบโรตารี่แวนสองขั้นตอน | |
ปั๊มโมเลกุล | ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลความเร็วสูง | ||
การวัดสุญญากาศ | เกจสุญญากาศแบบผสม | ||
พอร์ตสุญญากาศ | ISO63 | ||
พอร์ตไอเสีย | KF16 | ||
สุญญากาศสุดท้ายของระบบ | 1.0 × 10⁻⁴ Pa | ||
แหล่งจ่ายไฟ | AC 220V, 50/60 Hz | ||
อัตราการปั๊ม | ความเร็วปั๊มสุญญากาศหยาบ: 1.1 ลิตร/วินาที | ||
กำลังขับ | แหล่งจ่ายไฟ DC: 500 W | ||
พารามิเตอร์อื่นๆ | แรงดันไฟฟ้าขาเข้า | AC 220V, 50 Hz | |
กำลังไฟฟ้ารวมของระบบ | 2 กิโลวัตต์ | ||
ขนาดโดยรวม | 710 × 480 × 580 มม. | ||
ผู้ติดต่อ: Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748
Thai
