|
Λεπτομέρειες:
|
| Τύπος μηχανής: | Επικάλυψη διπλού στόχου Magnetron Sputtering | Δυναμικό: | 220 V |
|---|---|---|---|
| Ισχύς (w): | 2000 | Διάσταση (l*w*h): | 710*480*580 |
| Εγγύηση: | 1 Έτος | βάρος (kg): | 100 |
| Επισημαίνω: | Επιμεταλλωτής μαγνητρονικής στόχευσης από ανοξείδωτο χάλυβα,Δοκιμαστής επίστρωσης με διπλό στόχο στόχευσης,Σύστημα εναπόθεσης ελεγχόμενο μαγνητικά |
||
Κατηγορία | Στοιχείο | Προδιαγραφή | |
Όνομα Προϊόντος | Επιχρωμιωτής Μαγνητρονικής Εναπόθεσης Διπλού Στόχου Επιτραπέζιος με Θάλαμο από Ανοξείδωτο Χάλυβα | ||
Μοντέλο | LR-CK103 | ||
Βάση Δείγματος | Διαστάσεις | φ100 mm | |
Ρυθμιζόμενη Ταχύτητα Περιστροφής | ≤20 rpm | ||
Πυροβόλα Στόχοι Μαγνητρονίου | Εξοπλισμένο με δύο μαγνητρονικούς στόχους 2 ιντσών. Διαστάσεις στόχου: διάμετρος 50,8 mm, πάχος ≤3 mm | ||
Θάλαμος κενού | Διαστάσεις Θαλάμου | φ273 mm × 280 mm | |
Παράθυρο Παρατήρησης | Μπροστινό | ||
Υλικό Θαλάμου | Ανοξείδωτος Χάλυβας 304 | ||
Μηχανισμός Ανοίγματος | Κάλυμμα κορυφής και μπροστινή πόρτα | ||
Σύστημα κενού | Αντλία Αδρής Επεξεργασίας | Αντλία περιστροφικής πτερυγίου δύο σταδίων | |
Μοριακή Αντλία | Τουρμπομοριακή αντλία υψηλής ταχύτητας | ||
Μέτρηση κενού | Σύνθετο μανόμετρο κενού | ||
Θύρα Κενού | ISO63 | ||
Θύρα Εξαγωγής | KF16 | ||
Τελικό Κενό Συστήματος | 1.0 × 10⁻⁴ Pa | ||
Τροφοδοτικό | AC 220V, 50/60 Hz | ||
Ταχύτητα άντλησης | Ταχύτητα αντλίας αδρής επεξεργασίας: 1,1 L/s | ||
Ισχύς Εξόδου | Τροφοδοτικό DC: 500 W | ||
Άλλες Παράμετροι | Τάση Εισόδου | AC 220V, 50 Hz | |
Συνολική Ισχύς Συστήματος | 2 kW | ||
Συνολικές Διαστάσεις | 710 × 480 × 580 mm | ||
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Kaitlyn Wang
Τηλ.:: 19376687282
Φαξ: 86-769-83078748