Το LR-A428Μετρητής πάχους ανακλαστικού φιλμχρησιμοποιεί την αρχή της παρεμβολής αντανάκλασης για μη καταστροφικές μετρήσεις.Με την ανάλυση του προτύπου παρεμβολών που σχηματίζεται από το ανακλαστικό φως από την επιφάνεια του φιλμ και το ανακλαστικό φως από τη διεπαφή μεταξύ του φιλμ και του υποστρώματος, μαζί με το στάδιο R-Theta, μπορεί να είναι συμβατό με δείγματα που κυμαίνονται από 6 έως 12 ίντσες.Μετρώντας γρήγορα και με ακρίβεια πληροφορίες όπως πάχος φιλμ και οπτικές σταθερές, και αξιολόγηση της ομοιομορφίας του πάχους του φιλμ.
1.Λύσιμο μέτρησης οπτικής ταινίας·
2.Μη-συναντητική, μη καταστροφική μέτρηση·
3.Ο βασικός αλγόριθμος υποστηρίζει την ανάλυση λεπτών ταινιών σε παχιά ταινία και μονοστρωμάτων σε πολυστρωμάτων.
4.Ακριβότητα μέτρησης της επαναληψιμότητας πάχους φιλμ: 0,02 nm
5.Ο αριθμός και η θέση των σημείων μέτρησης μπορούν να επεξεργαστούν ανάλογα με τις ανάγκες στην συνταγή.
ΙΙ. Χαρακτηριστικά του προϊόντος
1.Χρησιμοποιώντας μια πηγή φωτός αλογενίου υψηλής έντασης, το φάσμα καλύπτει το εύρος από το υπεριώδες έως το κοντινό υπέρυθρο.
2.Υιοθετεί ένα σχεδιασμό υψηλής ολοκλήρωσης οπτικής, μηχανικής και ηλεκτρονικής, με μικρό μέγεθος και εύκολη λειτουργία.
3.Με βάση την αρχή της παρεμβολής του ανακλασμένου φωτός στην διεπαφή και την κάτω διεπαφή του λεπτού στρώματος φιλμ, είναι εύκολο να αναλυθεί από ένα μόνο στρώμα σε πολλαπλά στρώματα.
4.Εξοπλίζεται με ισχυρούς αλγόριθμους ανάλυσης πυρήνα: Η FFT χρησιμοποιείται για την ανάλυση παχών ταινιών και η μέθοδος ανάλυσης προσαρμογής καμπύλης χρησιμοποιείται για την ανάλυση των πληροφοριών φυσικών παραμέτρων των λεπτών ταινιών.
Ακριβότητα μέτρησης της επαναληψιμότητας πάχους φιλμ:
00,02 nm (100 nm δείγμα SiO2 με βάση το πυρίτιο, 100 επαναλαμβανόμενες μετρήσεις)
Απόλυτη ακρίβεια πάχους φιλμ
μεταξύ 0,2% ή 2nm, όποιο είναι μεγαλύτερο
Σταθερότητα πάχους ταινίας
Καλύτερα από 0,05 nm
Πεδίο μέτρησης πάχους ταινίας
15nm ~ 70um
Στάδιο δειγματοληψίας
Αυτοματοποιημένη κινητή πλατφόρμα R-Theta, διάμετρος στάθμης δειγματοληψίας τουλάχιστον 200 mm
* Μέθοδος δοκιμής
Αυτοματοποιημένη δοκιμή σε οποιαδήποτε πολλαπλά σημεία για τη δημιουργία χάρτη χαρτογράφησης πάχους (1. κυκλικό/ τετραγωνικό, 2. ακτινοειδές σχήμα, 3. Κέντρο ή Προσαρμογή (επεξεργασία συντεταγμένων σημείων σύμφωνα με τις ανάγκες δείγματος)
Ταχύτητα δοκιμής (συμπεριλαμβανομένης της στροφής κενού)
5 βαθμοί σε 5 δευτερόλεπτα, 25 βαθμοί σε 14 δευτερόλεπτα, 57 βαθμοί σε 30 δευτερόλεπτα.
Πηγή φωτός
Τυποποιημένη πηγή φωτός αλογονίου (με διάρκεια ζωής 10000 ωρών)
Συγκρότηση αντανάκλασης
Μπορεί να μοντελοποιήσει διαφορετικά υλικά επικάλυψης και να προσομοιώσει την καμπύλη αντανάκλασης του συστήματος ταινίας επικάλυψης
Λογισμικό ανάλυσης
Η piροσέγγιση piου piροβλέpiεται αpiό την Εpiιτροpiή είναι η piροσέγγιση piου piροβλέpiεται αpiό την Εpiιτροpiή.και δυνατότητες ανάλυσης για πολυστρωτικές ισοτροπικές οπτικές λεπτές ταινίες;
Τοποθετήστε χειροκίνητα το δείγμα, χαρτογραφήστε και μετρήστε αυτόματα και ο αριθμός και η θέση των σημείων μέτρησης μπορούν να επεξεργαστούν κατά περίπτωση στην συνταγή
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
Greek
