entre 0,2 % ou 2 nm, selon la valeur la plus élevée
Stabilité de l'épaisseur du film:
mieux que 0,05 nm
Mettre en évidence:
mesureur d'épaisseur de film réfléchissant
,
machine de test des constantes optiques
,
Testeur d'uniformité d'épaisseur de film
Testeur de l'épaisseur de film réfléchissante
I. Résumé
Le LR-A428mesureur d'épaisseur de film réfléchissantutilise le principe de l'interférence par réflexion pour des mesures non destructives.En analysant le schéma d'interférence formé par la lumière réfléchie de la surface du film et la lumière réfléchie de l'interface entre le film et le substrat, avec le stade R-Theta, il peut être compatible avec des échantillons de 6 à 12 pouces.mesure rapide et précise des informations telles que l'épaisseur du film et les constantes optiques, et évaluer l'uniformité de l'épaisseur du film.
1.une résolution de mesure de film optique;
2.Mesure sans contact et non destructive;
3.L'algorithme de base prend en charge l'analyse des films minces en films épais et des films à couche unique en films multicouches.
4.Précision de mesure de la répétabilité de l'épaisseur du film: 0,02 nm
5.Mesure entièrement automatique: le nombre et la position des points de mesure peuvent être modifiés selon les besoins dans la recette.
II. Caractéristiques du produit
1.En utilisant une source lumineuse halogène de haute intensité, le spectre couvre la gamme allant de l'ultraviolet à l'infrarouge proche.
2.Il adopte une conception hautement intégrée de l'optique, de la mécanique et de l'électronique, avec une petite taille et un fonctionnement facile.
3.Sur la base du principe d'interférence de la lumière réfléchie à l'interface et à l'interface inférieure de la couche de film mince, il est facile d'analyser d'une seule couche à plusieurs couches.
4.Équipé d'algorithmes d'analyse de base puissants: la FFT est utilisée pour analyser les films épais et la méthode d'analyse de l'ajustement des courbes est utilisée pour analyser les paramètres physiques des films minces;
III. Applications du produit
Il est largement appliqué dans la mesure de divers types de films de protection, de films organiques, de films inorganiques, de films métalliques, de revêtements, etc.
Testeur de l'épaisseur de film réfléchissante
Spécification technique
Fonction de base
Obtenir des valeurs d'épaisseur de film et des spectres R
Plage d'analyse spectrale
380 nm à 1100 nm
Mesurer la taille du point
1 à 5 mm
Précision de mesure de la répétabilité de l'épaisseur du film:
0.02 nm (100 nm d'échantillon de SiO2 à base de silicium, 100 mesures répétées)
Précision absolue de l'épaisseur du film
entre 0,2% ou 2 nm, selon la valeur la plus élevée
Stabilité de l'épaisseur du film
mieux que 0,05 nm
Plage de mesure de l'épaisseur du film
15nm à 70um
Étape de l'échantillonnage
Plate-forme mobile automatisée R-Theta, diamètre de l'échantillonnage au moins 200 mm
* Méthode d'essai
Tests automatisés à n'importe quels points multiples pour générer une carte de cartographie d'épaisseur (1. circulaire/carré, 2. forme radiale, 3. centre ou Exclusion des bords, 4. personnalisation (modification des points de coordonnées selon les besoins de l'échantillon)
Vitesse d'essai (y compris la chute sous vide)
5 points en 5 secondes, 25 points en 14 secondes, 57 points en 30 secondes.
Source lumineuse
Source lumineuse halogène standard (avec une durée de vie de 10000 heures)
Simulation de la réflectivité
Il peut modéliser différents matériaux de revêtement et simuler la courbe de réflectivité du système de film de revêtement
Logiciel d'analyse
Il est capable d'utiliser jusqu'à des centaines de bases de données de constantes de matériau optique et de prendre en charge des bibliothèques de matériau optique définies par l'utilisateur.et capacités d'analyse pour des films minces optiques isotropes multicouches;
Spécifications de la table d'essai de l'échantillon
Tailles mesurables des plaquettes
2 pouces et 4 pouces et 6 pouces et 8 pouces et 12 pouces
Méthode de fixation des plaquettes
adsorption sous vide
Plage de déplacement de la scène
au moins 200 mm * 200 mm
Placer manuellement l'échantillon, cartographier et mesurer automatiquement et le nombre et la position des points de mesure peuvent être modifiés au besoin dans la recette
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