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Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme

Certificado
CHINA DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Certificações
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Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme

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Imagem Grande :  Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme

Detalhes do produto:
Lugar de origem: Cantão, China
Marca: LONROY
Condições de Pagamento e Envio:
Quantidade de ordem mínima: 1

Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme

descrição
Tipo: Máquina de teste Classe de Precisão: Alta precisão
Precisão: / Aplicativo: Teste automático
Suporte personalizado: OEM, ODM, OBM Poder: -
Classe de Proteção: IP56 Tensão: 220 v
Garantia: 1 ano Faixa de análise espectral: 380nm-1100nm
Meça o tamanho do ponto: 1-5mm Precisão absoluta da espessura do filme: entre 0,2% ou 2 nm, o que for maior
Estabilidade da espessura do filme: melhor que 0,05nm
Destacar:

medidor de espessura de película refletora

,

Máquina de ensaio de constantes ópticas

,

Teste de uniformidade da espessura da película

Medidor de Espessura de Filme Reflexivo Testador de Constantes Óticas Máquina de Teste de Uniformidade de Espessura de Filme

 

 

I. Visão Geral

O LR-A428 medidor de espessura de filme reflexivo utiliza o princípio da interferência de reflexão para medição não destrutiva. Ao analisar o padrão de interferência formado pela luz refletida da superfície do filme e a luz refletida da interface entre o filme e o substrato, juntamente com o estágio R-Theta, ele pode ser compatível com amostras que variam de 6 a 12 polegadas. Ele pode realizar a varredura rápida de toda a amostra, medindo de forma rápida e precisa informações como espessura do filme e constantes ópticas, e avaliando a uniformidade da espessura do filme.

 

1. Solução de medição de filme óptico;

2. Medição sem contato e não destrutiva;

3. O algoritmo principal suporta a análise de filmes finos a filmes espessos, e filmes de camada única a filmes de múltiplas camadas.

4. Precisão de medição da repetibilidade da espessura do filme: 0,02 nm

5. Medição totalmente automática. O número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na Receita.

 

 

II. Características do Produto

 

1. Utilizando uma fonte de luz halógena de alta intensidade, o espectro cobre a faixa do ultravioleta ao infravermelho próximo.

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2. Adota um design altamente integrado de óptica, mecânica e eletrônica, apresentando tamanho pequeno e fácil operação.

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3. Com base no princípio da interferência da luz refletida na interface e na interface inferior da camada de filme fino, é fácil analisar de uma única camada a múltiplas camadas.

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4. Equipado com poderosos algoritmos de análise principais: FFT é usado para analisar filmes espessos, e o método de análise de ajuste de curva é empregado para analisar as informações de parâmetros físicos de filmes finos;

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III. Aplicações do Produto

É amplamente aplicado na medição de vários tipos de filmes de proteção, filmes orgânicos, filmes inorgânicos, filmes metálicos, revestimentos, etc.

 

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Medidor de Espessura de Filme Reflexivo Testador de Constantes Óticas Máquina de Teste de Uniformidade de Espessura de Filme

 

Especificação Técnica

 

Função básica

Obter valores de espessura do filme e espectros R

Faixa de análise espectral

380nm-1100nm

Medir o tamanho do ponto

1-5mm

Precisão de medição da repetibilidade da espessura do filme:

0,02nm (amostra de SiO2 à base de silício de 100nm, 100 medições repetidas)

Precisão absoluta da espessura do filme

entre 0,2% ou 2nm, o que for maior

Estabilidade da espessura do filme

melhor que 0,05nm

Faixa de medição da espessura do filme

15nm~70um

Estágio da amostra

Plataforma móvel R-Theta automatizada, diâmetro do estágio da amostra não inferior a 200mm

* Método de teste

Teste automatizado em vários pontos para gerar um mapa de mapeamento de espessura (1. circular/quadrado, 2. Forma radial, 3. Exclusão central ou
borda, 4. Personalização (editar pontos de coordenadas de acordo com as necessidades da amostra)

Velocidade do teste (incluindo mandril a vácuo)

5 pontos em 5 segundos, 25 pontos em 14 segundos, 57 pontos em 30 segundos

Fonte de luz

Fonte de luz halógena padrão (com vida útil de 10000 horas)

Simulação de refletividade

Pode modelar diferentes materiais de revestimento e simular a curva de refletividade do sistema de filme de revestimento

Software de análise

até centenas de bancos de dados de constantes de materiais ópticos e suporta bibliotecas de materiais ópticos definidas pelo usuário; Fornecer modelagem, simulação e capacidades de análise para filmes finos ópticos isotrópicos de múltiplas camadas;

Especificações da mesa de teste de amostras

Tamanhos de wafer mensuráveis

2 polegadas&4 polegadas&6 polegadas&8 polegadas&12 polegadas

Método de fixação do wafer

adsorção a vácuo

Faixa de movimento do estágio

não inferior a 200mm * 200mm

Coloque a amostra manualmente, mapeie e meça automaticamente, e o número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na Receita

 

 

 

 

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Contacto
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

Pessoa de Contato: Kaitlyn Wang

Telefone: 19376687282

Fax: 86-769-83078748

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