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Detalhes do produto:
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| Tipo: | Máquina de teste | Classe de Precisão: | Alta precisão |
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| Precisão: | / | Aplicativo: | Teste automático |
| Suporte personalizado: | OEM, ODM, OBM | Poder: | - |
| Classe de Proteção: | IP56 | Tensão: | 220 v |
| Garantia: | 1 ano | Faixa de análise espectral: | 380nm-1100nm |
| Meça o tamanho do ponto: | 1-5mm | Precisão absoluta da espessura do filme: | entre 0,2% ou 2 nm, o que for maior |
| Estabilidade da espessura do filme: | melhor que 0,05nm | ||
| Destacar: | medidor de espessura de película refletora,Máquina de ensaio de constantes ópticas,Teste de uniformidade da espessura da película |
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Medidor de Espessura de Filme Reflexivo Testador de Constantes Óticas Máquina de Teste de Uniformidade de Espessura de Filme
I. Visão Geral
O LR-A428 medidor de espessura de filme reflexivo utiliza o princípio da interferência de reflexão para medição não destrutiva. Ao analisar o padrão de interferência formado pela luz refletida da superfície do filme e a luz refletida da interface entre o filme e o substrato, juntamente com o estágio R-Theta, ele pode ser compatível com amostras que variam de 6 a 12 polegadas. Ele pode realizar a varredura rápida de toda a amostra, medindo de forma rápida e precisa informações como espessura do filme e constantes ópticas, e avaliando a uniformidade da espessura do filme.
1. Solução de medição de filme óptico;
2. Medição sem contato e não destrutiva;
3. O algoritmo principal suporta a análise de filmes finos a filmes espessos, e filmes de camada única a filmes de múltiplas camadas.
4. Precisão de medição da repetibilidade da espessura do filme: 0,02 nm
5. Medição totalmente automática. O número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na Receita.
II. Características do Produto
1. Utilizando uma fonte de luz halógena de alta intensidade, o espectro cobre a faixa do ultravioleta ao infravermelho próximo.
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2. Adota um design altamente integrado de óptica, mecânica e eletrônica, apresentando tamanho pequeno e fácil operação.
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3. Com base no princípio da interferência da luz refletida na interface e na interface inferior da camada de filme fino, é fácil analisar de uma única camada a múltiplas camadas.
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4. Equipado com poderosos algoritmos de análise principais: FFT é usado para analisar filmes espessos, e o método de análise de ajuste de curva é empregado para analisar as informações de parâmetros físicos de filmes finos;
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III. Aplicações do Produto
É amplamente aplicado na medição de vários tipos de filmes de proteção, filmes orgânicos, filmes inorgânicos, filmes metálicos, revestimentos, etc.
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Medidor de Espessura de Filme Reflexivo Testador de Constantes Óticas Máquina de Teste de Uniformidade de Espessura de Filme
Especificação Técnica
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Função básica |
Obter valores de espessura do filme e espectros R |
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Faixa de análise espectral |
380nm-1100nm |
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Medir o tamanho do ponto |
1-5mm |
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Precisão de medição da repetibilidade da espessura do filme: |
0,02nm (amostra de SiO2 à base de silício de 100nm, 100 medições repetidas) |
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Precisão absoluta da espessura do filme |
entre 0,2% ou 2nm, o que for maior |
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Estabilidade da espessura do filme |
melhor que 0,05nm |
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Faixa de medição da espessura do filme |
15nm~70um |
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Estágio da amostra |
Plataforma móvel R-Theta automatizada, diâmetro do estágio da amostra não inferior a 200mm |
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* Método de teste |
Teste automatizado em vários pontos para gerar um mapa de mapeamento de espessura (1. circular/quadrado, 2. Forma radial, 3. Exclusão central ou |
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Velocidade do teste (incluindo mandril a vácuo) |
5 pontos em 5 segundos, 25 pontos em 14 segundos, 57 pontos em 30 segundos |
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Fonte de luz |
Fonte de luz halógena padrão (com vida útil de 10000 horas) |
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Simulação de refletividade |
Pode modelar diferentes materiais de revestimento e simular a curva de refletividade do sistema de filme de revestimento |
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Software de análise |
até centenas de bancos de dados de constantes de materiais ópticos e suporta bibliotecas de materiais ópticos definidas pelo usuário; Fornecer modelagem, simulação e capacidades de análise para filmes finos ópticos isotrópicos de múltiplas camadas; |
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Especificações da mesa de teste de amostras |
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Tamanhos de wafer mensuráveis |
2 polegadas&4 polegadas&6 polegadas&8 polegadas&12 polegadas |
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Método de fixação do wafer |
adsorção a vácuo |
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Faixa de movimento do estágio |
não inferior a 200mm * 200mm |
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Coloque a amostra manualmente, mapeie e meça automaticamente, e o número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na Receita |
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Pessoa de Contato: Kaitlyn Wang
Telefone: 19376687282
Fax: 86-769-83078748