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제품 소개실험실 검사 기계

반사 필름 두께 측정기 광적 상수 검사기 필름 두께 균일성 검사 기계

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중국 DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD 인증
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반사 필름 두께 측정기 광적 상수 검사기 필름 두께 균일성 검사 기계

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큰 이미지 :  반사 필름 두께 측정기 광적 상수 검사기 필름 두께 균일성 검사 기계

제품 상세 정보:
원래 장소: 중국 광둥
브랜드 이름: LONROY
결제 및 배송 조건:
최소 주문 수량: 1

반사 필름 두께 측정기 광적 상수 검사기 필름 두께 균일성 검사 기계

설명
유형: 테스트 머신 정확도 등급: 높은 정확도
정확성: / 애플리케이션: 자동 테스트
맞춤형 지원: OEM, ODM, OBM 힘: -
보호 등급: IP56 전압: 220 v
보증: 1년 스펙트럼 분석 범위: 380nm-1100nm
스폿 크기 측정: 1-5mm 필름 두께의 절대적인 정밀도: 0.2% 또는 2nm 중 더 큰 값
필름 두께 안정성: 0.05nm보다 우수
강조하다:

반사 필름 두께 측정기

,

광적 상수 검사 기계

,

필름 두께 균일성 검사기

반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 장비

 

 

I. 개요

LR-A428 반사 필름 두께 측정기 는 비파괴 측정을 위해 반사 간섭의 원리를 활용합니다. 필름 표면에서 반사된 빛과 필름과 기판 사이의 인터페이스에서 반사된 빛으로 형성된 간섭 패턴을 R-Theta 스테이지와 함께 분석하여 6~12인치 범위의 샘플과 호환될 수 있습니다. 전체 샘플의 빠른 스캔을 수행하여 필름 두께 및 광학 상수와 같은 정보를 빠르고 정확하게 측정하고 필름 두께의 균일성을 평가할 수 있습니다.

 

1. 광학 필름 측정 솔루션;

2. 비접촉, 비파괴 측정;

3. 핵심 알고리즘은 얇은 필름에서 두꺼운 필름까지, 단층 필름에서 다층 필름까지 분석을 지원합니다.

4. 필름 두께 반복 측정 정확도: 0.02 nm

5. 완전 자동 측정. 레시피에서 필요에 따라 측정 지점의 수와 위치를 편집할 수 있습니다.

 

 

II. 제품 특징

 

1. 고강도 할로겐 광원을 활용하여 스펙트럼은 자외선에서 근적외선까지 범위를 커버합니다.

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2. 광학, 기계 및 전자 장치의 고도로 통합된 설계를 채택하여 소형화 및 쉬운 작동을 특징으로 합니다.

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3. 얇은 필름층의 인터페이스 및 하부 인터페이스에서 반사된 빛의 간섭 원리를 기반으로 단층에서 다층까지 쉽게 분석할 수 있습니다.

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4. 강력한 핵심 분석 알고리즘 장착: FFT는 두꺼운 필름을 분석하는 데 사용되고, 곡선 피팅 분석 방법은 얇은 필름의 물리적 매개변수 정보를 분석하는 데 사용됩니다.

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III. 제품 응용 분야

다양한 유형의 보호 필름, 유기 필름, 무기 필름, 금속 필름, 코팅 등의 측정에 널리 적용됩니다.

 

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반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 장비

 

기술 사양

 

기본 기능

필름 두께 값 및 R 스펙트럼 획득

스펙트럼 분석 범위

380nm-1100nm

측정 스폿 크기

1-5mm

필름 두께 반복 측정 정확도:

0.02nm (100nm 실리콘 기반 SiO2 샘플, 100회 반복 측정)

필름 두께 절대 정밀도

0.2% 또는 2nm 중 큰 값

필름 두께 안정성

0.05nm보다 우수

필름 두께 측정 범위

15nm~70um

샘플 스테이지

자동 R-Theta 이동 플랫폼, 샘플 스테이지 직경 200mm 이상

* 테스트 방법

임의의 여러 지점에서 자동 테스트하여 두께 매핑 맵 생성 (1. 원형/사각형, 2. 방사형, 3. 중앙 또는
가장자리 제외, 4. 사용자 정의 (샘플 요구 사항에 따라 좌표점 편집)

테스트 속도 (진공 척 포함)

5초에 5점, 14초에 25점, 30초에 57점

광원

표준 할로겐 광원 (수명 10000시간)

반사율 시뮬레이션

다양한 코팅 재료를 모델링하고 코팅 필름 시스템의 반사율 곡선을 시뮬레이션할 수 있습니다.

분석 소프트웨어

수백 개의 광학 재료 상수 데이터베이스까지, 사용자 정의 광학 재료 라이브러리를 지원합니다. 다층 등방성 광학 박막에 대한 모델링, 시뮬레이션 및 분석 기능을 제공합니다.

샘플 테스트 테이블 사양

측정 가능한 웨이퍼 크기

2인치&4인치&6인치&8인치&12인치

웨이퍼 고정 방법

진공 흡착

스테이지의 이동 범위

200mm * 200mm 이상

수동으로 샘플을 배치하고 자동으로 매핑 및 측정하며, 레시피에서 필요에 따라 측정 지점의 수와 위치를 편집할 수 있습니다.

 

 

 

 

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연락처 세부 사항
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

담당자: Kaitlyn Wang

전화 번호: 19376687282

팩스: 86-769-83078748

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