| 유형: | 테스트 머신 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
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| 정확성: | / | 애플리케이션: | 자동 테스트 |
| 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM | 힘: | - |
| 보호 등급: | IP56 | 전압: | 220 v |
| 보증: | 1년 | 스펙트럼 분석 범위: | 380nm-1100nm |
| 스폿 크기 측정: | 1-5mm | 필름 두께의 절대적인 정밀도: | 0.2% 또는 2nm 중 더 큰 값 |
| 필름 두께 안정성: | 0.05nm보다 우수 | ||
| 강조하다: | 반사 필름 두께 측정기,광적 상수 검사 기계,필름 두께 균일성 검사기 |
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반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 장비
I. 개요
LR-A428 반사 필름 두께 측정기 는 비파괴 측정을 위해 반사 간섭의 원리를 활용합니다. 필름 표면에서 반사된 빛과 필름과 기판 사이의 인터페이스에서 반사된 빛으로 형성된 간섭 패턴을 R-Theta 스테이지와 함께 분석하여 6~12인치 범위의 샘플과 호환될 수 있습니다. 전체 샘플의 빠른 스캔을 수행하여 필름 두께 및 광학 상수와 같은 정보를 빠르고 정확하게 측정하고 필름 두께의 균일성을 평가할 수 있습니다.
1. 광학 필름 측정 솔루션;
2. 비접촉, 비파괴 측정;
3. 핵심 알고리즘은 얇은 필름에서 두꺼운 필름까지, 단층 필름에서 다층 필름까지 분석을 지원합니다.
4. 필름 두께 반복 측정 정확도: 0.02 nm
5. 완전 자동 측정. 레시피에서 필요에 따라 측정 지점의 수와 위치를 편집할 수 있습니다.
II. 제품 특징
1. 고강도 할로겐 광원을 활용하여 스펙트럼은 자외선에서 근적외선까지 범위를 커버합니다.
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2. 광학, 기계 및 전자 장치의 고도로 통합된 설계를 채택하여 소형화 및 쉬운 작동을 특징으로 합니다.
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3. 얇은 필름층의 인터페이스 및 하부 인터페이스에서 반사된 빛의 간섭 원리를 기반으로 단층에서 다층까지 쉽게 분석할 수 있습니다.
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4. 강력한 핵심 분석 알고리즘 장착: FFT는 두꺼운 필름을 분석하는 데 사용되고, 곡선 피팅 분석 방법은 얇은 필름의 물리적 매개변수 정보를 분석하는 데 사용됩니다.
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III. 제품 응용 분야
다양한 유형의 보호 필름, 유기 필름, 무기 필름, 금속 필름, 코팅 등의 측정에 널리 적용됩니다.
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반사 필름 두께 측정기 광학 상수 테스터 필름 두께 균일성 테스트 장비
기술 사양
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기본 기능 |
필름 두께 값 및 R 스펙트럼 획득 |
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스펙트럼 분석 범위 |
380nm-1100nm |
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측정 스폿 크기 |
1-5mm |
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필름 두께 반복 측정 정확도: |
0.02nm (100nm 실리콘 기반 SiO2 샘플, 100회 반복 측정) |
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필름 두께 절대 정밀도 |
0.2% 또는 2nm 중 큰 값 |
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필름 두께 안정성 |
0.05nm보다 우수 |
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필름 두께 측정 범위 |
15nm~70um |
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샘플 스테이지 |
자동 R-Theta 이동 플랫폼, 샘플 스테이지 직경 200mm 이상 |
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* 테스트 방법 |
임의의 여러 지점에서 자동 테스트하여 두께 매핑 맵 생성 (1. 원형/사각형, 2. 방사형, 3. 중앙 또는 |
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테스트 속도 (진공 척 포함) |
5초에 5점, 14초에 25점, 30초에 57점 |
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광원 |
표준 할로겐 광원 (수명 10000시간) |
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반사율 시뮬레이션 |
다양한 코팅 재료를 모델링하고 코팅 필름 시스템의 반사율 곡선을 시뮬레이션할 수 있습니다. |
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분석 소프트웨어 |
수백 개의 광학 재료 상수 데이터베이스까지, 사용자 정의 광학 재료 라이브러리를 지원합니다. 다층 등방성 광학 박막에 대한 모델링, 시뮬레이션 및 분석 기능을 제공합니다. |
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샘플 테스트 테이블 사양 |
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측정 가능한 웨이퍼 크기 |
2인치&4인치&6인치&8인치&12인치 |
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웨이퍼 고정 방법 |
진공 흡착 |
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스테이지의 이동 범위 |
200mm * 200mm 이상 |
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수동으로 샘플을 배치하고 자동으로 매핑 및 측정하며, 레시피에서 필요에 따라 측정 지점의 수와 위치를 편집할 수 있습니다. |
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담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748