LR-A428отражающий толщинометр пленкииспользует принцип воздействия отражения для неразрушающего измерения.Анализируя интерференционный рисунок, образованный отражаемым светом от поверхности пленки и отражаемым светом от интерфейса между пленкой и подложкой, наряду со стадией R-Theta, она может быть совместима с образцами от 6 до 12 дюймов.быстрое и точное измерение информации, такой как толщина пленки и оптические константы, и оценки однородности толщины пленки.
1.раствор для измерения оптической пленки;
2.Неконтактные, неразрушительные измерения;
3.Основной алгоритм поддерживает анализ тонких пленок на толстые пленки и однослойных пленок на многослойные пленки.
4.Точность измерения повторяемости толщины пленки: 0,02 нм
5.Полностью автоматическое измерение. Количество и положение точек измерения могут быть отредактированы по мере необходимости в Рецепте.
II. Особенности продукта
1.Используя высокоинтенсивный галогенный источник света, спектр охватывает диапазон от ультрафиолета до ближнего инфракрасного.
2.Он использует высокоинтегрированную конструкцию оптики, механики и электроники, с небольшими размерами и легкой эксплуатацией.
3.Основываясь на принципе интерференции отраженного света на интерфейсе и нижнем интерфейсе тонкого слоя пленки, легко анализировать от одного слоя до нескольких слоев.
4.Оборудована мощными алгоритмами анализа ядра: для анализа толстых пленок используется FFT, а для анализа информации о физических параметрах тонких пленок используется метод анализа с приспособлением кривой;
III. Применение продукции
Он широко применяется при измерении различных типов защитных пленок, органических пленок, неорганических пленок, металлических пленок, покрытий и т.д.
0.02 нм (100 нм пробы SiO2 на основе кремния, 100 повторных измерений)
Абсолютная точность толщины пленки
0,2% или 2 нм, в зависимости от того, какой из них выше
Устойчивость толщины пленки
лучше 0,05 нм
Диапазон измерения толщины пленки
15nm ~ 70um
Стадия выборки
Автоматизированная мобильная платформа R-Theta, диаметр пробной ступени не менее 200 мм
* Метод испытания
Автоматическое тестирование в любых нескольких точках для создания карты картирования толщины (1. круговой/квадратный, 2. радиальная форма, 3. Центр или исключение края, 4. настройка (редактирование координатных точек в соответствии с потребностями образца)
Измерительная скорость (включая вакуумный насос)
5 баллов за 5 секунд, 25 баллов за 14 секунд, 57 баллов за 30 секунд.
Источник света
Стандартный галогенный источник света (с продолжительностью жизни 10000 часов)
Симуляция отражательной способности
Он может моделировать различные материалы покрытия и имитировать кривую отражательности системы покрытия пленки
Программное обеспечение анализа
До сотен постоянных баз данных оптических материалов и поддерживает библиотеки оптических материалов, определенных пользователем.и аналитические возможности для многослойных изотропных оптических тонких пленок;
Спецификации таблицы испытаний образцов
Измеримые размеры пластинок
2 дюйма и 4 дюйма и 6 дюймов и 8 дюймов и 12 дюймов
Способ фиксации пластины
вакуумная адсорбция
Движущийся диапазон сцены
не менее 200 мм * 200 мм
Вручную поместить образец, автоматически отобразить и измерить, и количество и положение точек измерения могут быть отредактированы по мере необходимости в рецепте
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Russian
