Spiegeldicke des Films Meter Optische Konstanten Tester Filmmütigkeitsprüfung Maschine
Beschreibung
Typ:
Testmaschine
Genauigkeitsklasse:
Hohe Genauigkeit
Genauigkeit:
/
Anwendung:
Autotests
Maßgeschneiderte Unterstützung:
OEM, ODM, OBM
Leistung:
-
Schutzklasse:
IP56
Stromspannung:
220 V
Garantie:
1 Jahr
Spektralanalysebereich:
380 nm-1100 nm
Messen Sie die Punktgröße:
1-5mm
Absolute Präzision der Filmdicke:
zwischen 0,2 % oder 2 nm, je nachdem, welcher Wert größer ist
Stabilität der Filmdicke:
besser als 0,05 nm
Hervorheben:
reflektierende Filmdickheitsmessung
,
Maschine zum Testen optischer Konstanten
,
Prüfstoff für die Einheitlichkeit der Filmdicke
Spiegeldicke des Films Meter Optische Konstanten Tester Filmmütigkeitsprüfung Maschine
I. Übersicht
Der LR-A428reflektierende Filmdickheitsmessungverwendet das Prinzip der Reflexionsstörung für die zerstörungsfreie Messung.Durch die Analyse des Interferenzmusters, das sich aus dem reflektierten Licht von der Filmoberfläche und dem reflektierten Licht von der Schnittstelle zwischen Film und Substrat bildet, zusammen mit dem R-Theta-Stufe, kann es mit Proben im Bereich von 6 bis 12 Zoll kompatibel sein.Schnelle und genaue Messung von Informationen wie Filmdicke und optischen Konstanten, und Bewertung der Einheitlichkeit der Filmdicke.
1.Optische Filmmesslösung;
2.Kontaktlose, zerstörungsfreie Messung;
3.Der Kernalgorithmus unterstützt die Analyse von dünnen zu dicken Filmen und von Einlagenschichten zu Mehrlagenschichten.
4.Messgenauigkeit der Wiederholgenauigkeit der Filmdicke: 0,02 nm
5.Vollautomatische Messung: Anzahl und Position der Messpunkte können im Rezept nach Bedarf bearbeitet werden.
II. Merkmale des Erzeugnisses
1.Durch die Verwendung einer hochintensiven Halogenlichtquelle erstreckt sich das Spektrum vom ultravioletten bis zum nahen Infrarot.
2.Es ist eine hochgradig integrierte Optik-, Mechanik- und Elektronikkonstruktion mit geringer Größe und einfacher Bedienung.
3.Auf der Grundlage des Interferenzprinzips des reflektierten Lichts an der Schnittstelle und der unteren Schnittstelle der dünnen Filmschicht ist es leicht, von einer einzigen Schicht zu mehreren Schichten zu analysieren.
4.Ausgestattet mit leistungsfähigen Kernanalysalgorithmen: FFT wird zur Analyse dicker Folien verwendet, und zur Analyse der physikalischen Parameterinformationen dünner Folien wird die Analyse der Kurvenanpassung angewendet;
III. Anwendung der Produkte
Es wird in der Messung verschiedener Arten von Schutzfolien, organischen Folien, anorganischen Folien, Metallfolien, Beschichtungen usw. weit verbreitet.
Spiegeldicke des Films Meter Optische Konstanten Tester Filmmütigkeitsprüfung Maschine
Technische Spezifikation
Grundfunktion
Erhalten Sie Filmmengtwerte und R-Spektren
Spektralanalysebereich
380 nm bis 1100 nm
Messen Sie die Fleckengröße
1-5 mm
Messgenauigkeit der Wiederholbarkeit der Filmdicke:
0.02nm (100nm SiO2-Proben auf Siliziumbasis, 100 wiederholte Messungen)
Absolute Präzision der Filmdicke
zwischen 0,2% oder 2 nm, je nachdem, welcher Wert größer ist
Filmdicke Stabilität
besser als 0,05 nm
Filmmengungsbereich
15nm bis 70um
Stichprobenstufe
Automatisierte mobile R-Theta-Plattform mit einem Durchmesser von mindestens 200 mm
* Prüfmethode
Automatisierte Prüfung an beliebigen mehreren Punkten zur Erstellung einer Dickenkarte (1. kreisförmig/quadratisch, 2. radiale Form, 3. Mitte oder 4. Anpassung (Koordinatenpunkte entsprechend den Probenbedürfnissen bearbeiten)
Prüfgeschwindigkeit (einschließlich Vakuumschub)
5 Punkte in 5 Sekunden, 25 Punkte in 14 Sekunden, 57 Punkte in 30 Sekunden.
Lichtquelle
Standardhalogenlichtquelle (mit einer Lebensdauer von 10000 Stunden)
Simulation der Reflexibilität
Es kann verschiedene Beschichtungsmaterialien modellieren und die Reflexionskurve des Beschichtungssystems simulieren
Analyse-Software
Die Datenbank enthält bis zu hunderte von Datenbanken mit optischen Materialien und unterstützt benutzerdefinierte optische Materialienbibliotheken.und Analysefähigkeiten für mehrschichtige isotrope optische Dünnfolien;
Spezifikationen der Probenprüftabelle
Messbare Wafergrößen
2 Zoll und 4 Zoll und 6 Zoll und 8 Zoll und 12 Zoll
Methode zur Fixierung der Wafer
Vakuumabsorption
Bewegungsbereich der Bühne
nicht weniger als 200 mm * 200 mm
Die Probe manuell platzieren, automatisch abbilden und messen, und die Anzahl und Position der Messpunkte können im Rezept nach Bedarf bearbeitet werden
Ihre Nachricht muss zwischen 20 und 3.000 Zeichen enthalten!
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