เครื่องวัดความหนาของฟิล์มที่สะท้อนแสง เครื่องวัดค่าคงที่ทางแสง เครื่องทดสอบความหนาของฟิล์ม เครื่องทดสอบความเหมือนกัน

เครื่องวัดความหนาฟิล์มสะท้อนแสง เครื่องทดสอบค่าคงที่ทางแสง เครื่องทดสอบความสม่ำเสมอของความหนาฟิล์ม

I. ภาพรวม

LR-A428 เครื่องวัดความหนาฟิล์มสะท้อนแสง ใช้หลักการแทรกสอดของแสงสะท้อนสำหรับการวัดแบบไม่ทำลาย โดยการวิเคราะห์รูปแบบการแทรกสอดที่เกิดจากแสงสะท้อนจากพื้นผิวฟิล์มและแสงสะท้อนจากรอยต่อระหว่างฟิล์มกับพื้นผิว พร้อมด้วย R-Theta stage ทำให้สามารถใช้งานร่วมกับตัวอย่างขนาด 6 ถึง 12 นิ้วได้ สามารถทำการสแกนตัวอย่างทั้งหมดได้อย่างรวดเร็ว วัดข้อมูลต่างๆ เช่น ความหนาของฟิล์มและค่าคงที่ทางแสงได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ และประเมินความสม่ำเสมอของความหนาฟิล์ม

1. โซลูชันการวัดฟิล์มแสง

2. การวัดแบบไม่สัมผัสและไม่ทำลาย

3. อัลกอริทึมหลักรองรับการวิเคราะห์ฟิล์มบางถึงฟิล์มหนา และฟิล์มชั้นเดียวถึงฟิล์มหลายชั้น

4. ความแม่นยำในการวัดความหนาของฟิล์มซ้ำ: 0.02 nm

5. การวัดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ สามารถแก้ไขจำนวนและตำแหน่งของจุดวัดได้ตามต้องการใน Recipe

II. คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์

1. ใช้แหล่งกำเนิดแสงฮาโลเจนความเข้มสูง สเปกตรัมครอบคลุมช่วงจากอัลตราไวโอเลตถึงใกล้เคียงอินฟราเรด

2. ใช้การออกแบบที่รวมเอาออปติก กลไก และอิเล็กทรอนิกส์เข้าด้วยกัน มีขนาดเล็กและใช้งานง่าย

3. อิงตามหลักการแทรกสอดของแสงสะท้อนที่รอยต่อและรอยต่อล่างของชั้นฟิล์มบาง ทำให้ง่ายต่อการวิเคราะห์ตั้งแต่ชั้นเดียวไปจนถึงหลายชั้น

4. ติดตั้งอัลกอริทึมการวิเคราะห์หลักที่มีประสิทธิภาพ: ใช้ FFT เพื่อวิเคราะห์ฟิล์มหนา และใช้วิธีการวิเคราะห์แบบ curve fitting เพื่อวิเคราะห์ข้อมูลพารามิเตอร์ทางกายภาพของฟิล์มบาง

III. การประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์

มีการประยุกต์ใช้อย่างกว้างขวางในการวัดฟิล์มป้องกันชนิดต่างๆ ฟิล์มอินทรีย์ ฟิล์มอนินทรีย์ ฟิล์มโลหะ สารเคลือบ ฯลฯ

เครื่องวัดความหนาฟิล์มสะท้อนแสง เครื่องทดสอบค่าคงที่ทางแสง เครื่องทดสอบความสม่ำเสมอของความหนาฟิล์ม

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค