Teste de espesor de película reflectante medidor de constantes ópticas Tester de espesor de película máquina de ensayo de uniformidad
descripción
Tipo:
Máquina de prueba
Clase de precisión:
Alta precisión
Exactitud:
/
Solicitud:
Pruebas automáticas
Soporte personalizado:
OEM, ODM, OBM
Fuerza:
-
Clase de protección:
IP56
Voltaje:
220 V
Garantía:
1 año
Rango de análisis espectral:
380nm-1100nm
Mida el tamaño del punto:
1-5 mm
Precisión absoluta del espesor de la película.:
entre 0,2% o 2 nm, lo que sea mayor
Estabilidad del espesor de la película:
mejor que 0,05 nm
Resaltar:
medidor de espesor de película reflectante
,
máquina de ensayo de constantes ópticas
,
Probador de uniformidad del espesor de la película
Teste de espesor de película reflectante medidor de constantes ópticas Tester de espesor de película máquina de ensayo de uniformidad
I. Resumen general
El LR-A428medidor de espesor de película reflectanteUtiliza el principio de interferencia de reflexión para mediciones no destructivas.Al analizar el patrón de interferencia formado por la luz reflejada de la superficie de la película y la luz reflejada de la interfaz entre la película y el sustrato, junto con la etapa R-Theta, puede ser compatible con muestras que van desde 6 a 12 pulgadas.Medición rápida y precisa de información como el grosor de la película y las constantes ópticas, y evaluar la uniformidad del grosor de la película.
1.Solución de medición de película óptica;
2.Medidas sin contacto y no destructivas.
3.El algoritmo central admite el análisis de películas delgadas a películas gruesas y películas de una sola capa a películas de varias capas.
4.Precisión de medición de la repetibilidad del espesor de la película: 0,02 nm
5.Medición totalmente automática: el número y la posición de los puntos de medición se pueden editar según sea necesario en la receta.
II. Características del producto
1.Utilizando una fuente de luz halógena de alta intensidad, el espectro cubre el rango desde el ultravioleta hasta el infrarrojo cercano.
2.Adopta un diseño altamente integrado de óptica, mecánica y electrónica, con un tamaño pequeño y una fácil operación.
3.Basado en el principio de interferencia de la luz reflejada en la interfaz y la interfaz inferior de la capa de película delgada, es fácil analizar desde una sola capa hasta múltiples capas.
4.Equipado con poderosos algoritmos de análisis de núcleo: se utiliza FFT para analizar películas gruesas y se emplea el método de análisis de ajuste de curvas para analizar la información de parámetros físicos de películas delgadas;
III. Aplicaciones del producto
Se aplica ampliamente en la medición de varios tipos de películas protectoras, películas orgánicas, películas inorgánicas, películas metálicas, recubrimientos, etc.
Teste de espesor de película reflectante medidor de constantes ópticas Tester de espesor de película máquina de ensayo de uniformidad
Especificación técnica
Función básica
Obtener valores de espesor de película y espectros R
Rango de análisis espectral
380 nm a 1100 nm
Medir el tamaño del punto
1 a 5 mm
Precisión de medición de la repetibilidad del grosor de la película:
0.02nm (100nm muestra de SiO2 a base de silicio, 100 mediciones repetidas)
Precisión absoluta del grosor de la película
entre 0,2% y 2 nm, el valor que sea mayor
Estabilidad del espesor de la película
mejor que 0,05 nm
Rango de medición del grosor de la película
15nm ~ 70um
Fase de muestreo
Plataforma móvil automática R-Theta, con un diámetro de la etapa de muestra no inferior a 200 mm
* Método de ensayo
Pruebas automatizadas en múltiples puntos para generar un mapa de cartografía de espesor (1. circular/cuadrado, 2.forma radial, 3. centro o exclusión del borde, 4. personalización (editar puntos de coordenadas de acuerdo con las necesidades de la muestra)
Velocidad de ensayo (incluido el chuck de vacío)
5 puntos en 5 segundos 25 puntos en 14 segundos 57 puntos en 30 segundos
Fuente de luz
Fuente de luz halógena estándar (con una duración de 10000 horas)
Simulación de reflectividad
Puede modelar diferentes materiales de recubrimiento y simular la curva de reflectividad del sistema de película de recubrimiento
Software de análisis
El sistema de base de datos de material óptico es compatible con el sistema de base de datos de material óptico de hasta cientos de bases de datos constantes de material óptico, y admite bibliotecas de material óptico definidas por el usuario.y capacidades de análisis para películas finas ópticas isotrópicas multicapa;
Especificaciones de la tabla de ensayo de muestras
Tamaños medibles de las obleas
2 pulgadas y 4 pulgadas y 6 pulgadas y 8 pulgadas y 12 pulgadas
Método de fijación de las obleas
Adsorción al vacío
Rango de movimiento del escenario
no inferior a 200 mm * 200 mm
Colocar manualmente la muestra, mapear y medir automáticamente y el número y la posición de los puntos de medición se pueden editar según sea necesario en la receta
¡Su mensaje debe tener entre 20 y 3.000 caracteres!
Spanish
