высокоточное оборудование для измерения оптических констант
,
лабораторная испытательная машина с гарантией
Компактный высокоточный измеритель толщины светоотражающей пленки, оборудование для измерения оптических констант, лабораторная испытательная машина
Компактный высокоточный измеритель толщины светоотражающей пленки, оборудование для измерения оптических констант, цена производителя
I. Обзор
Компактный высокоточный измеритель толщины отражающей пленки LR-A429 использует принцип оптической интерференции. Анализируя интерференционную картину, образованную отраженным светом от поверхности пленки и отраженным светом от границы между пленкой и подложкой, он может быстро и точно измерить толщину пленки, оптические константы и другую информацию.
1.Решение для оптического измерения пленки;
2.Бесконтактное, неразрушающее измерение;
3.Основной алгоритм поддерживает анализ тонких пленок и толстых пленок, а также однослойных и многослойных пленок.
4.Точность измерения повторяемости толщины пленки: 0,02 нм.
5.Полностью автоматическое измерение. Количество и положение точек измерения можно при необходимости редактировать в Рецепте.
II. Особенности продукта
1.Благодаря использованию галогенного источника света высокой интенсивности спектр охватывает диапазон от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного.
2.Он имеет высокоинтегрированную конструкцию оптики, механики и электроники, имеет небольшой размер и простоту в эксплуатации.
3.Основываясь на принципе интерференции отраженного света на границе раздела и нижней границе раздела тонкопленочных слоев, можно легко анализировать от одного слоя до нескольких слоев.
4.Оснащен мощными алгоритмами основного анализа: БПФ используется для анализа толстых пленок, а метод анализа аппроксимации кривой используется для анализа информации о физических параметрах тонких пленок;
III. Применение продукта
Он широко применяется при измерении различных типов защитных пленок, органических пленок, неорганических пленок, металлических пленок, покрытий и т. д.
ICompact Высокоточный измеритель толщины светоотражающей пленки, измеритель оптических констант, оборудование для измерения цены производителя
Техническая спецификация
Основная функция
Получите значения толщины пленки и спектры R.
Диапазон спектрального анализа
380-1100 нм
Измерьте размер пятна
1-5 мм
Точность измерения повторяемости толщины пленки:
0,02 нм (образец SiO2 на основе кремния длиной 100 нм, 100 повторных измерений)
Абсолютная точность толщины пленки
между 0,2% или 2 нм, в зависимости от того, что больше
Стабильность толщины пленки
лучше, чем 0,05 нм
Диапазон измерения толщины пленки
15 нм ~ 70 мкм
Образец этапа
Автоматизированная мобильная платформа R-Theta, диаметр предметного столика не менее 200 мм.
* Метод тестирования
Автоматическое тестирование в любых нескольких точках для создания карты толщины (1. круглая/квадратная, 2. радиальная форма, 3. центральная или исключение краев, 4. Настройка (редактирование координатных точек в соответствии с потребностями образца)
Скорость испытания (включая вакуумный патрон)
5 очков за 5 секунд, 25 очков за 14 секунд, 57 очков за 30 секунд.
Источник света
Стандартный галогенный источник света (срок службы 10 000 часов)
Моделирование отражательной способности
Он может моделировать различные материалы покрытия и моделировать кривую отражательной способности системы покрытия.
Программное обеспечение для анализа
до сотен баз данных констант оптических материалов и поддержка пользовательских библиотек оптических материалов; Обеспечение возможностей моделирования, моделирования и анализа многослойных изотропных оптических тонких пленок;
Пример спецификации испытательного стола
Измеримые размеры пластин
2 дюйма, 4 дюйма, 6 дюймов, 8 дюймов и 12 дюймов
Метод фиксации пластины
вакуумная адсорбция
Диапазон перемещения сцены
не менее 200мм*200мм
Размещайте образец вручную, автоматически составляйте карту и измеряйте, а количество и положение точек измерения можно при необходимости редактировать в рецепте.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Russian
