|
Ürün ayrıntıları:
|
| Tip: | Test makinesi | Doğruluk sınıfı: | Yüksek doğruluk |
|---|---|---|---|
| Kesinlik: | / | Başvuru: | Otomatik Test |
| Özelleştirilmiş destek: | OEM, ODM, OBM | Güç: | - |
| Koruma Sınıfı: | IP56 | Gerilim: | 220 V |
| Garanti: | 1 Yıl | Spot boyutunu ölçün: | 1-5mm |
| Spektral analiz aralığı: | 380nm-1100nm | Film kalınlığının mutlak hassasiyeti: | %0,2 veya 2 nm arasında (hangisi büyükse) |
| Film kalınlığı stabilitesi: | 0,05 nm'den daha iyi | ||
| Vurgulamak: | kompakt yansıtıcı film kalınlığı ölçer,yüksek hassas optik sabit ölçüm ekipmanları,Garanti ile laboratuvar test makinesi |
||
Kompakt Yüksek hassasiyetli yansıtıcı film kalınlığı ölçer optik sabitler ölçüm ekipmanları üretici fiyatı
I. Genel Bakış
BuLR-A429 Kompakt Yüksek Hassasiyetli Yansıtıcı Film Kalınlığı Ölçücüsü optik müdahale ilkesini kullanır.Film yüzeyinden yansıyan ışık ve film ile alt katman arasındaki arayüzden yansıyan ışık tarafından oluşturulan müdahale kalıbını analiz ederek, film kalınlığını, optik sabitleri ve diğer bilgileri hızlı ve doğru bir şekilde ölçebilir.
1.Optik film ölçüm çözeltisi;
2.Temassız, yıkıcı olmayan ölçüm;
3.Temel algoritma, ince filmlerin kalın filmlere ve tek katmanlı filmlerin çok katmanlı filmlere analiz edilmesini destekler.
4.Film kalınlığının tekrarlanabilirliği ölçüm doğruluğu: 0.02 nm
5.Tamamen otomatik ölçüm. Ölçüm noktalarının sayısı ve konumu Reçette gerektiği gibi düzenlenebilir.
II. Ürün Özellikleri
1.Yüksek yoğunluklu bir halogen ışık kaynağı kullanılarak, spektrum ultraviyoleten yakın kızılötesiye kadar olan aralığı kapsar.
![]()
2.Optik, mekanik ve elektroniklerin yüksek oranda bütünleştirilmiş bir tasarımını benimsiyor, küçük boyutlara ve kolay çalışmaya sahiptir.
![]()
3.İncelediği ışığın arayüzde ve ince film katmanının alt arayüzünde müdahale prensibine dayanarak, tek katmandan birden fazla katmana analiz etmek kolaydır.
![]()
4.Güçlü çekirdek analiz algoritmaları ile donatılmıştır: Kalın filmleri analiz etmek için FFT kullanılır ve ince filmlerin fiziksel parametre bilgilerini analiz etmek için eğri uygunluk analizi yöntemi kullanılır;
![]()
III. Ürün Uygulamaları
Çeşitli koruyucu filmlerin, organik filmlerin, inorganik filmlerin, metal filmlerin, kaplamaların vb. ölçümünde yaygın olarak uygulanmaktadır.
![]()
![]()
ICompact Yüksek hassasiyetli yansıtıcı film kalınlığı ölçer optik sabitler ölçüm ekipmanları Üretici fiyatı
Teknik Özellik
|
Temel işlev |
Film kalınlığı değerleri ve R spektrumları alın |
|
Spektral analiz aralığı |
380nm-1100nm |
|
Noktanın boyutunu ölç |
1-5 mm |
|
Film kalınlığının tekrarlanabilirliği ölçüm doğruluğu: |
0.02nm (100nm silikon bazlı SiO2 örneği, 100 tekrarlanan ölçüm) |
|
Film kalınlığının mutlak doğruluğu |
% 0,2 veya 2nm arasında, hangisi daha büyükse |
|
Film kalınlığı istikrarı |
0.05nm'den daha iyi |
|
Film kalınlığı ölçüm aralığı |
15nm~70um |
|
Örnekleme aşaması |
Otomatik R-Theta mobil platform, örnekleme aşamasının çapı en az 200 mm |
|
* Test yöntemi |
Kalınlık haritalama haritası oluşturmak için herhangi bir çok noktada otomatik test (1. dairesel/kare, 2.Radial şekil, 3. Merkezi veya |
|
Sınav hızı (vakum çubuğu dahil) |
5 saniyede 5 puan, 14 saniyede 25 puan, 30 saniyede 57 puan. |
|
Işık kaynağı |
Standart bir halogen ışık kaynağı (10000 saatlik ömrü ile) |
|
Yansıtıcılık simülasyonu |
Farklı kaplama malzemelerini modelleyebilir ve kaplama filmi sisteminin yansıtıcılık eğrisini simüle edebilir |
|
Analiz yazılımı |
Yüzlerce optik malzeme sabit veritabanına kadar ve kullanıcı tarafından tanımlanan optik malzeme kitaplıklarını destekler.Çok katmanlı izotropik optik ince filmler için analiz yetenekleri; |
|
Örnek test tablosunun özellikleri |
|
|
Ölçülebilir wafer boyutları |
2 inç 4 inç 6 inç 8 inç 12 inç |
|
Wafer sabitleme yöntemi |
vakum adsorpsiyonu |
|
Sahnenin hareket aralığı |
en az 200mm * 200mm |
|
El ile numune yerleştirmek, otomatik olarak harita ve ölçüm ve ölçüm noktalarının sayısı ve konumu gerekirse düzenlenebilir Tarif |
|
![]()
![]()
İlgili kişi: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748