DeDe LR-A429 compacte, zeer nauwkeurige reflecterende filmdiktemeter maakt gebruik van het principe van optische interferentie. Door het interferentiepatroon te analyseren dat wordt gevormd door het gereflecteerde licht van het filmoppervlak en het gereflecteerde licht van het grensvlak tussen de film en het substraat, kan het snel en nauwkeurig de dikte van de film, optische constanten en andere informatie meten.
1.Optische filmmeetoplossing;
2.Contactloze, niet-destructieve meting;
3.Het kernalgoritme ondersteunt de analyse van dunne films naar dikke films, en van enkellaagsfilms naar meerlaagsfilms.
4.Meetnauwkeurigheid van herhaalbaarheid van de filmdikte: 0,02 nm
5.Volautomatische meting. Het aantal en de positie van de meetpunten kunnen indien nodig worden bewerkt in het Recept.
II. Producteigenschappen
1.Door gebruik te maken van een halogeenlichtbron met hoge intensiteit bestrijkt het spectrum het bereik van ultraviolet tot nabij-infrarood.
2.Het maakt gebruik van een sterk geïntegreerd ontwerp van optica, mechanica en elektronica, met een klein formaat en eenvoudige bediening.
3.Gebaseerd op het principe van interferentie van gereflecteerd licht op het grensvlak en het onderste grensvlak van de dunne filmlaag, is het eenvoudig om van een enkele laag naar meerdere lagen te analyseren.
4.Uitgerust met krachtige kernanalyse-algoritmen: FFT wordt gebruikt om dikke films te analyseren, en de curve-fitting-analysemethode wordt gebruikt om de fysieke parameterinformatie van dunne films te analyseren;
III. Producttoepassingen
Het wordt veel toegepast bij het meten van verschillende soorten beschermende films, organische films, anorganische films, metaalfilms, coatings, enz.
Meetnauwkeurigheid van herhaalbaarheid van de filmdikte:
0,02 nm (100 nm SiO2-monster op siliciumbasis, 100 herhaalde metingen)
Absolute nauwkeurigheid van de filmdikte
tussen 0,2% of 2 nm, welke van de twee het grootst is
Stabiliteit van de filmdikte
beter dan 0,05 nm
Meetbereik filmdikte
15nm~70um
Voorbeeld podium
Geautomatiseerd mobiel R-Theta-platform, monsterplatformdiameter niet minder dan 200 mm
* Testmethode
Geautomatiseerd testen op meerdere punten om een kaart voor diktekartering te genereren (1. rond/vierkant, 2. Radiale vorm, 3. Midden of randuitsluiting, 4. Aanpassing (bewerk coördinaatpunten volgens monsterbehoeften)
Testsnelheid (inclusief vacuümklauwplaat)
5 punten in 5 seconden, 25 punten in 14 seconden, 57 punten in 30 seconden
Lichtbron
Standaard halogeenlichtbron (met een levensduur van 10.000 uur)
Reflectiviteitssimulatie
Het kan verschillende coatingmaterialen modelleren en de reflectiviteitscurve van het coatingfilmsysteem simuleren
Analysesoftware
tot honderden databases met optische materiaalconstanten, en ondersteunt door de gebruiker gedefinieerde optische materiaalbibliotheken; Biedt modellerings-, simulatie- en analysemogelijkheden voor meerlaagse isotrope optische dunne films;
Specificaties van voorbeeldtesttafels
Meetbare wafelgroottes
2 inch en 4 inch en 6 inch en 8 inch en 12 inch
Wafer-fixatiemethode
vacuüm adsorptie
Bewegend bereik van het podium
niet minder dan 200 mm * 200 mm
Plaats het monster handmatig, breng het automatisch in kaart en meet het, en het aantal en de positie van de meetpunten kunnen indien nodig worden bewerkt in het Recept
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
Dutch
