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Produktdetails:
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| Typ: | Testmaschine | Genauigkeitsklasse: | Hohe Genauigkeit |
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| Genauigkeit: | / | Anwendung: | Autotests |
| Maßgeschneiderte Unterstützung: | OEM, ODM, OBM | Leistung: | - |
| Schutzklasse: | IP56 | Stromspannung: | 220 V |
| Garantie: | 1 Jahr | Messen Sie die Punktgröße: | 1-5mm |
| Spektralanalysebereich: | 380 nm-1100 nm | Absolute Präzision der Filmdicke: | zwischen 0,2 % oder 2 nm, je nachdem, welcher Wert größer ist |
| Stabilität der Filmdicke: | besser als 0,05 nm | ||
| Hervorheben: | Kompakter Reflektometer zur Messung der Filmdicke,Hochpräzises Messgerät für optische Konstanten,Labortestmaschine mit Garantie |
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Kompakte Hochpräzisionsreflexive Filmdicke Meter Optische Konstanten Messgeräte Herstellerpreis
I. Übersicht
DieDer LR-A429 Compact High-Precision Reflective Film Thickness Meter verwendet das Prinzip der optischen Interferenz.Durch die Analyse des Interferenzmusters, das sich aus dem reflektierten Licht von der Filmoberfläche und dem reflektierten Licht von der Schnittstelle zwischen Film und Substrat bildet, kann es schnell und genau die Dicke des Films, optische Konstanten und andere Informationen messen.
1.Optische Filmmesslösung;
2.Kontaktlose, zerstörungsfreie Messung;
3.Der Kernalgorithmus unterstützt die Analyse von dünnen zu dicken Filmen und von Einlagenschichten zu Mehrlagenschichten.
4.Messgenauigkeit der Wiederholgenauigkeit der Filmdicke: 0,02 nm
5.Vollautomatische Messung: Anzahl und Position der Messpunkte können im Rezept nach Bedarf bearbeitet werden.
II. Merkmale des Erzeugnisses
1.Durch die Verwendung einer hochintensiven Halogenlichtquelle erstreckt sich das Spektrum vom ultravioletten bis zum nahen Infrarot.
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2.Es ist eine hochgradig integrierte Optik-, Mechanik- und Elektronikkonstruktion mit geringer Größe und einfacher Bedienung.
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3.Auf der Grundlage des Interferenzprinzips des reflektierten Lichts an der Schnittstelle und der unteren Schnittstelle der dünnen Filmschicht ist es leicht, von einer einzigen Schicht zu mehreren Schichten zu analysieren.
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4.Ausgestattet mit leistungsfähigen Kernanalysalgorithmen: FFT wird zur Analyse dicker Folien verwendet, und zur Analyse der physikalischen Parameterinformationen dünner Folien wird die Analyse der Kurvenanpassung verwendet;
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III. Anwendung der Produkte
Es wird in der Messung verschiedener Arten von Schutzfolien, organischen Folien, anorganischen Folien, Metallfolien, Beschichtungen usw. weit verbreitet.
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ICompact Hochpräzisionsreflexiver Filmmustemeter Optische Konstanten Messgeräte Herstellerpreis
Technische Spezifikation
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Grundfunktion |
Erhalten Sie Filmmengtwerte und R-Spektren |
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Spektralanalysebereich |
380 nm bis 1100 nm |
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Messen Sie die Fleckengröße |
1-5 mm |
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Messgenauigkeit der Wiederholbarkeit der Filmdicke: |
0.02nm (100nm SiO2-Proben auf Siliziumbasis, 100 wiederholte Messungen) |
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Absolute Präzision der Filmdicke |
zwischen 0,2% oder 2 nm, je nachdem, welcher Wert größer ist |
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Filmdicke Stabilität |
besser als 0,05 nm |
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Filmmengungsbereich |
15nm bis 70um |
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Stichprobenstufe |
Automatisierte mobile R-Theta-Plattform mit einem Durchmesser von mindestens 200 mm |
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* Prüfmethode |
Automatisierte Prüfung an beliebigen mehreren Punkten zur Erstellung einer Dickenkarte (1. kreisförmig/quadratisch, 2. radiale Form, 3. Mitte oder |
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Prüfgeschwindigkeit (einschließlich Vakuumschub) |
5 Punkte in 5 Sekunden, 25 Punkte in 14 Sekunden, 57 Punkte in 30 Sekunden. |
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Lichtquelle |
Standardhalogenlichtquelle (mit einer Lebensdauer von 10000 Stunden) |
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Simulation der Reflexibilität |
Es kann verschiedene Beschichtungsmaterialien modellieren und die Reflexionskurve des Beschichtungssystems simulieren |
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Analyse-Software |
Die Datenbank enthält bis zu hunderte von Datenbanken mit optischen Materialien und unterstützt benutzerdefinierte optische Materialienbibliotheken.und Analysefähigkeiten für mehrschichtige isotrope optische Dünnfolien; |
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Spezifikationen der Probenprüftabelle |
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Messbare Wafergrößen |
2 Zoll und 4 Zoll und 6 Zoll und 8 Zoll und 12 Zoll |
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Methode zur Fixierung der Wafer |
Vakuumabsorption |
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Bewegungsbereich der Bühne |
nicht weniger als 200 mm * 200 mm |
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Die Probe manuell platzieren, automatisch abbilden und messen, und die Anzahl und Position der Messpunkte können im Rezept nach Bedarf bearbeitet werden |
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Ansprechpartner: Kaitlyn Wang
Telefon: 19376687282
Faxen: 86-769-83078748