| タイプ: | テストマシン | 精度クラス: | 高精度 |
|---|---|---|---|
| 正確さ: | / | 応用: | 自動テスト |
| カスタマイズされたサポート: | OEM、ODM、OBM | 力: | - |
| 保護クラス: | IP56 | 電圧: | 220 v |
| 保証: | 1年 | スポットサイズを測定する: | 1-5mm |
| スペクトル分析範囲: | 380nm～1100nm | 膜厚の絶対精度: | 0.2% または 2nm のいずれか大きい方 |
| 膜厚安定性: | 0.05nm以上 | ||
| ハイライト: | コンパクト反射フィルム厚み計,高精度光学常数測定装置,保証付きの検査機 |
||
コンパクト高精度反射膜厚計 光学定数測定装置 メーカー価格
I. 概要
このLR-A429 コンパクト高精度反射膜厚計は、光干渉の原理を利用しています。膜表面からの反射光と、膜と基板の界面からの反射光によって形成される干渉パターンを分析することにより、膜厚、光学定数、その他の情報を迅速かつ正確に測定できます。
1. 光学膜測定ソリューション;
2. 非接触、非破壊測定;
3. コアアルゴリズムは、薄膜から厚膜、単層膜から多層膜の分析をサポートしています。
4. 膜厚繰り返し測定精度：0.02 nm
5. 全自動測定。測定点の数と位置は、レシピで必要に応じて編集できます。
II. 製品の特徴
1. 高輝度ハロゲン光源を採用し、スペクトルは紫外線から近赤外線までをカバーしています。
2. 光学系、機械系、電子系を高度に統合した設計を採用しており、小型で操作が簡単です。
3. 薄膜層の界面と下部界面での反射光の干渉の原理に基づいており、単層から多層への分析が容易です。
4. 強力なコア分析アルゴリズムを搭載：FFTを使用して厚膜を分析し、曲線フィッティング分析法を使用して薄膜の物理パラメータ情報を分析します。
III. 製品の用途
各種保護膜、有機膜、無機膜、金属膜、コーティングなどの測定に広く適用されています。
Iコンパクト高精度反射膜厚計 光学定数測定装置 メーカー価格
技術仕様
|
基本機能 |
膜厚値とRスペクトルを取得 |
|
スペクトル分析範囲 |
380nm-1100nm |
|
測定スポットサイズ |
1-5mm |
|
膜厚繰り返し測定精度: |
0.02nm (100nm シリコンベース SiO2 サンプル、100 回繰り返し測定) |
|
膜厚の絶対精度 |
0.2% または 2nm のいずれか大きい方 |
|
膜厚安定性 |
0.05nm より優れている |
|
膜厚測定範囲 |
15nm~70um |
|
サンプルステージ |
自動R-シータ可動プラットフォーム、サンプルステージ直径は200mm以上 |
|
* 試験方法 |
任意の複数ポイントでの自動試験により、厚さマッピングマップを生成 (1. 円形/正方形、2. 放射状、3. 中心または |
|
試験速度 (真空チャックを含む) |
5点で5秒、25点で14秒、57点で30秒 |
|
光源 |
標準ハロゲン光源 (寿命10000時間) |
|
反射率シミュレーション |
さまざまなコーティング材料をモデル化し、コーティング膜システムの反射率曲線をシミュレートできます |
|
分析ソフトウェア |
数百の光学材料定数データベースまで対応し、ユーザー定義の光学材料ライブラリをサポートしています。多層等方性光学薄膜のモデリング、シミュレーション、分析機能を提供します。 |
|
サンプル試験テーブル仕様 |
|
|
測定可能なウェーハサイズ |
2インチ&4インチ&6インチ&8インチ&12インチ |
|
ウェーハ固定方法 |
真空吸着 |
|
ステージの移動範囲 |
200mm * 200mm以上 |
|
手動でサンプルを配置し、自動的にマッピングして測定し、測定点の数と位置は、レシピで必要に応じて編集できます。 |
|
コンタクトパーソン: Kaitlyn Wang
電話番号: 19376687282
ファックス: 86-769-83078748
Japanese
