| 유형: | 테스트 머신 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
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| 정확성: | / | 애플리케이션: | 자동 테스트 |
| 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM | 힘: | - |
| 보호 등급: | IP56 | 전압: | 220 v |
| 보증: | 1년 | 스폿 크기 측정: | 1-5mm |
| 스펙트럼 분석 범위: | 380nm-1100nm | 필름 두께의 절대적인 정밀도: | 0.2% 또는 2nm 중 더 큰 값 |
| 필름 두께 안정성: | 0.05nm보다 우수 | ||
| 강조하다: | 소형 반사 필름 두께 측정기,고정밀 광학 상수 측정 장비,보증이 있는 실험실 시험기 |
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콤팩트 고정도 반사 필름 두께 측정기 광적 상수 측정장비 제조업체 가격
I. 개요
TheLR-A429 컴팩트 고 정밀 반사 필름 두께 측정기는 광적 간섭의 원리를 사용합니다.필름 표면에서 반사되는 빛과 필름과 기판 사이의 인터페이스에서 반사되는 빛으로 형성된 간섭 패턴을 분석함으로써, 그것은 빠르고 정확하게 필름의 두께, 광학 상수, 그리고 다른 정보를 측정 할 수 있습니다.
1.광적 필름 측정 용액
2.비접촉, 비파괴 측정
3.핵심 알고리즘은 얇은 필름에서 두꺼운 필름, 단일 계층 필름에서 다층 필름의 분석을 지원합니다.
4.필름 두께 반복성의 측정 정확도: 0.02 nm
5.완전 자동 측정. 측정 포인트의 수와 위치를 필요에 따라 레시피에서 편집 할 수 있습니다.
II. 제품 특성
1.고 강도 하로겐 광원을 이용해서, 스펙트럼은 자외선에서 근 적외선까지의 범위를 커버합니다.
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2.광학, 기계 및 전자 장치가 매우 통합된 디자인을 채택하고 있으며, 작은 크기와 쉬운 조작을 특징으로합니다.
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3.인터페이스와 얇은 필름 층의 하부 인터페이스에서 반사 빛의 간섭 원리에 기초하여 단일 층에서 여러 층으로 분석하는 것이 쉽습니다.
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4.강력한 핵심 분석 알고리즘을 갖추고 있다. FFT는 두꺼운 필름을 분석하는데 사용되며, 곡선 부착 분석 방법은 얇은 필름의 물리적 매개 변수 정보를 분석하는데 사용된다.
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III. 제품 사용
그것은 다양한 유형의 보호 필름, 유기 필름, 무기 필름, 금속 필름, 코팅 등을 측정하는 데 널리 사용됩니다.
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I컴팩트 고정밀 반사 필름 두께 측정기 광적 상수 측정장비 제조업체 가격
기술 사양
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기본 기능 |
필름 두께 값과 R 스펙트럼을 얻으십시오. |
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스펙트럼 분석 범위 |
380nm-1100nm |
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점 크기를 측정합니다. |
1~5mm |
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필름 두께 반복성의 측정 정확도: |
0.02nm (100nm 실리콘 기반 SiO2 샘플, 100번 반복 측정) |
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필름 두께의 절대 정밀도 |
0.2% 또는 2nm 사이, 어느 쪽이 더 큰지 |
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필름 두께 안정성 |
0.05nm 이상 |
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필름 두께 측정 범위 |
15nm~70um |
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표본 단계 |
자동 R-Theta 이동 플랫폼, 샘플 스테이지 지름 200mm 이하 |
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* 시험 방법 |
두께 매핑 지도를 생성하기 위해 여러 점에서 자동 테스트 (1. 원형 / 제곱, 2. 광선 모양, 3. 센터 또는 |
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시험 속도 (실공 턱 포함) |
5초에 5점, 14초에 25점, 30초에 57점 |
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광원 |
표준 하로겐 광원 (생명기간 10000시간) |
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반사성 시뮬레이션 |
그것은 다른 코팅 소재를 모델링하고 코팅 필름 시스템의 반사율 곡선을 시뮬레이션 할 수 있습니다. |
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분석 소프트웨어 |
최대 수백 개의 광학 물질 고정 데이터베이스, 사용자 정의 광학 물질 라이브러리를 지원합니다.다층 동위 광학 얇은 필름에 대한 분석 기능; |
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샘플 테스트 테이블 사양 |
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측정 가능한 웨이퍼 크기 |
2인치&4인치&6인치&8인치&12인치 |
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웨이퍼 고정 방법 |
진공 흡수 |
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무대 이동 범위 |
최소 200mm * 200mm |
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수동으로 표본을 배치, 자동으로 지도 및 측정, 측정 포인트의 수와 위치를 필요에 따라 수정 할 수 있습니다 |
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담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748