Kompakter hochpräziser Reflektometer zur Messung der Filmdicke, Herstellerpreis für optische Konstanten-Messgeräte

Kompakter hochpräziser Reflektometer zur Messung der Filmdicke, Herstellerpreis für optische Konstantenmessgeräte

I. Übersicht

DerDas kompakte, hochpräzise Reflektometer LR-A429 zur Messung der Filmdicke nutzt das Prinzip der optischen Interferenz. Durch die Analyse des Interferenzmusters, das durch das reflektierte Licht von der Filmoberfläche und das reflektierte Licht von der Grenzfläche zwischen Film und Substrat gebildet wird, kann es schnell und präzise die Dicke des Films, die optischen Konstanten und andere Informationen messen.

1. Optische Filmmesslösung;

2. Berührungslose, zerstörungsfreie Messung;

3. Der Kernalgorithmus unterstützt die Analyse von dünnen bis dicken Filmen und von einschichtigen bis mehrschichtigen Filmen.

4. Messgenauigkeit der Filmdickenwiederholbarkeit: 0,02 nm

5. Vollautomatische Messung. Die Anzahl und Position der Messpunkte können nach Bedarf im Rezept bearbeitet werden.

II. Produktmerkmale

1. Unter Verwendung einer hochintensiven Halogenlichtquelle deckt das Spektrum den Bereich von ultraviolett bis nah-infrarot ab.

2. Es verwendet ein hochintegriertes Design aus Optik, Mechanik und Elektronik, das sich durch geringe Größe und einfache Bedienung auszeichnet.

3. Basierend auf dem Prinzip der Interferenz des reflektierten Lichts an der Grenzfläche und der unteren Grenzfläche der Dünnschicht ist es einfach, von einer einzelnen Schicht zu mehreren Schichten zu analysieren.

4. Ausgestattet mit leistungsstarken Kernanalysealgorithmen: FFT wird zur Analyse dicker Filme verwendet, und die Kurvenanpassungsanalyse wird verwendet, um die physikalischen Parameterinformationen von dünnen Filmen zu analysieren;

III. Produktanwendungen

Es wird häufig bei der Messung verschiedener Arten von Schutzfilmen, organischen Filmen, anorganischen Filmen, Metallfilmen, Beschichtungen usw. eingesetzt.

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Technische Spezifikation