Система нанесения пленок методом погружения с многослойным отводом, испытатель нанесения сухих, влажных и гелевых пленок, аппарат для нанесения фоторезиста

Применение продукта Система погружного нанесения покрытий и осаждения пленок методом отрыва LR-Z268 в основном используется для подготовки тонкопленочных материалов методами в жидкой фазе, такими как золь-гель процесс. Чистая, сухая подложка погружается в раствор, а затем, в соответствии с заданными параметрами, медленно извлекается с контролируемой скоростью. В результате на подложке образуется тонкий слой пленки, известный как «влажная гелевая пленка». По мере испарения растворителя из этой влажной гелевой пленки она затвердевает на подложке, образуя «сухую гелевую пленку». Дальнейшая сушка и высокотемпературная термообработка сухой гелевой пленки позволяют получить желаемый нанотонкий пленочный материал.

Параметры, включая скорость отрыва, высоту отрыва, время погружения, количество циклов нанесения покрытия (для многослойных покрытий) и интервал времени между покрытиями, непрерывно регулируются и точно контролируются. Система не предъявляет особых требований к типам подложек — могут покрываться плоские пластины, блоки или цилиндры. Благодаря стабильной работе и отсутствию вибрации поверхности жидкости во время обработки значительно повышается точность и эффективность экспериментов.

Данное оборудование подходит для нанесения пленок на твердые поверхности, такие как кремниевые пластины, полупроводниковые чипы, стекло, керамика и металлы, и широко применяется в научных исследованиях и промышленном производстве.

1. Привод от серводвигателей в сочетании с оригинальным импортированным из Германии механизмом вертикального подъема и программируемой системой управления обеспечивает высокую точность и стабильность работы. Высокая точность, плавность и отсутствие вибрации при работе серводвигателя несравнимы со шаговыми двигателями.

2. Модернизированный оригинальный импортированный из Германии блок вертикального подъема, изготовленный из специальных функциональных материалов, обеспечивает высокую точность, отсутствие люфта, плавную работу, коррозионную стойкость, не требующую обслуживания долговечность и увеличенный срок службы.

3. Конструкция закрытой камеры, в которой раствор для нанесения покрытия и образцы помещаются внутрь герметичной камеры для предотвращения воздействия внешней среды. Прозрачные передняя и боковые панели позволяют четко наблюдать за процессом нанесения покрытия.

4. Полностью автоматическое программное управление с шестью регулируемыми параметрами: скорость опускания, время погружения, скорость отрыва, размеры покрытия, количество циклов нанесения покрытия и интервал времени между циклами — все непрерывно регулируется и точно контролируется. После установки программы нанесения покрытия весь процесс — от опускания до погружения и отрыва — полностью автоматизирован.

5. Поддерживает как полностью автоматический режим, так и ручной режим для гибких процедур нанесения покрытия.

6. Оснащен 7-дюймовым сенсорным интерфейсом, который отображает параметры в реальном времени во время работы, обеспечивая интуитивный мониторинг хода нанесения покрытия.

7. Работает плавно как на высоких, так и на низких скоростях, без вибрации поверхности жидкости во время работы, что приводит к более равномерному формированию пленки.

8. Стандартная комплектация включает три зажимных крепления для надежного и стабильного удержания подложки. Обе стороны зажимов крепления снабжены резиновыми накладками для предотвращения повреждения подложек.