Macchina per rivestimento a immersione Sistema di deposizione di film per ritiro multistrato Tester per rivestimento di film umido secco in gel Rivestitore di fotoresist

Applicazione del prodotto Il sistema di deposizione di film a estrazione e dip-coating LR-Z268 viene utilizzato principalmente per la preparazione di materiali a film sottile tramite metodi in fase liquida come il processo sol-gel. Un substrato pulito e asciutto viene immerso in una soluzione e quindi, secondo parametri preimpostati, estratto lentamente a una velocità controllata. Ciò si traduce in un sottile strato di film aderente al substrato, noto come "film gel umido". Man mano che il solvente evapora da questo film gel umido, si solidifica sul substrato in un "film gel secco". Ulteriore essiccazione e trattamento termico ad alta temperatura del film gel secco producono il materiale a film sottile nano desiderato.

Parametri tra cui velocità di estrazione, altezza di estrazione, tempo di immersione, numero di cicli di rivestimento (per rivestimenti multistrato) e tempo di intervallo tra i rivestimenti sono tutti continuamente regolabili e controllati con precisione. Il sistema non impone requisiti speciali sui tipi di substrato: wafer piatti, blocchi o cilindri possono essere rivestiti. Con un funzionamento stabile e una superficie del liquido priva di vibrazioni durante l'elaborazione, l'accuratezza e l'efficienza sperimentali sono notevolmente migliorate.

Questa apparecchiatura è adatta per la deposizione di film su superfici solide come wafer di silicio, chip semiconduttori, vetro, ceramica e metalli, ed è ampiamente applicata nella ricerca scientifica e nella produzione industriale.

1. Azionato da servomotori, combinato con un meccanismo di sollevamento verticale originale importato dalla Germania e un sistema di controllo programmabile, garantendo alta precisione e stabilità operativa. L'alta precisione, la fluidità e l'assenza di vibrazioni durante il funzionamento del servomotore sono ineguagliabili dai motori passo-passo.

2. Aggiornato con un'unità di sollevamento verticale originale importata dalla Germania realizzata con materiali funzionali speciali, che offre alta precisione, trasmissione priva di gioco, funzionamento fluido, resistenza alla corrosione, prestazioni a vita senza manutenzione e maggiore durata.

3. Progettato con una struttura a camera chiusa, in cui sia la soluzione di rivestimento che i campioni sono posizionati all'interno di una camera sigillata per prevenire interferenze dall'ambiente esterno. Pannelli anteriori e laterali trasparenti consentono un'osservazione chiara del processo di rivestimento.

4. Controllo del programma completamente automatico con sei parametri regolabili: velocità di discesa, tempo di immersione, velocità di estrazione, dimensioni del rivestimento, numero di cicli di rivestimento e tempo di intervallo tra i cicli, tutti continuamente regolabili e controllati con precisione. Una volta impostato il programma di rivestimento, l'intero processo, dalla discesa all'immersione e all'estrazione, è completamente automatizzato.

5. Supporta sia l'operazione completamente automatica che la modalità manuale per procedure di rivestimento flessibili.

6. Dotato di un'interfaccia touchscreen da 7 pollici che visualizza i parametri in tempo reale durante il funzionamento, consentendo un monitoraggio intuitivo del progresso del rivestimento.

7. Funziona in modo fluido sia ad alta che a bassa velocità, senza vibrazioni della superficie del liquido durante il lavoro, con conseguente formazione di film più uniforme.

8. La configurazione standard include tre fissaggi di bloccaggio per una tenuta sicura e stabile del substrato. Entrambi i lati delle ganasce del fissaggio sono rivestiti con cuscinetti in gomma per evitare danni ai substrati.