제품 하이라이트
- 서보 모터 정밀도: 독일 수입 수직 리프팅 메커니즘을 갖춘 서보 모터로 구동되어 탁월한 안정성을 제공합니다.
- 밀폐형 챔버 설계: 밀폐된 챔버는 투명 패널을 통해 외부 간섭을 방지하여 명확한 관찰을 가능하게 합니다.
- 완전 자동 제어: 속도, 시간, 사이클을 포함한 6가지 조절 가능한 매개변수로 완전 자동 코팅 공정을 지원합니다.
- 진동 없는 작동: 고속 또는 저속 작업 중 액체 표면 진동 없이 균일한 필름 형성을 보장합니다.
- 다용도 기판 지원: 평판 웨이퍼, 블록, 실린더, 실리콘, 유리, 세라믹 및 금속에 적합합니다.
- 터치 스크린 인터페이스: 7인치 터치 스크린은 직관적인 모니터링을 위해 실시간 매개변수를 표시합니다.
- 유연한 작동 모드: 유연한 절차를 위해 완전 자동 작동 및 수동 모드를 모두 지원합니다.
- 내구성 있는 고정구 설계: 표준 3개의 클램핑 고정구와 고무 패드가 있어 기판 손상을 방지합니다.
기능성 딥 코팅기 다층 인출 필름 증착 시스템 건습 겔 필름 코팅 테스터 포토레지스트 코터
제품 응용
LR-Z268 딥 코팅 및 인출 필름 증착 시스템은 주로 졸-겔 공정과 같은 액상 방법을 통해 박막 재료를 준비하는 데 사용됩니다. 깨끗하고 건조한 기판을 용액에 담근 다음, 사전 설정된 매개변수에 따라 제어된 속도로 천천히 인출합니다. 이로 인해 "습윤 겔 필름"이라고 하는 얇은 필름 층이 기판에 부착됩니다. 이 습윤 겔 필름에서 용매가 증발함에 따라 기판에서 고체화되어 "건조 겔 필름"이 됩니다. 건조 겔 필름의 추가 건조 및 고온 열처리를 통해 원하는 나노 박막 재료를 얻을 수 있습니다.
인출 속도, 인출 높이, 침지 시간, 코팅 사이클 수(다층 코팅의 경우) 및 코팅 간 간격 시간과 같은 매개변수는 모두 지속적으로 조절 가능하며 정밀하게 제어됩니다. 이 시스템은 기판 유형에 특별한 요구 사항을 부과하지 않습니다. 평판 웨이퍼, 블록 또는 실린더 모두 코팅할 수 있습니다. 안정적인 작동과 공정 중 진동 없는 액체 표면으로 실험 정확도와 효율성이 크게 향상됩니다.
이 장비는 실리콘 웨이퍼, 반도체 칩, 유리, 세라믹 및 금속과 같은 고체 표면에 필름을 증착하는 데 적합하며 과학 연구 및 산업 생산에 널리 적용됩니다.
딥 코팅 및 인출 필름 증착 시스템의 특징
1. 서보 모터로 구동되며, 오리지널 독일 수입 수직 리프팅 메커니즘 및 프로그래밍 가능한 제어 시스템과 결합되어 높은 작동 정밀도와 안정성을 보장합니다. 서보 모터 작동 중 높은 정확도, 부드러움 및 진동 없음은 스테퍼 모터로는 따라갈 수 없습니다.
2. 특수 기능성 소재로 제작된 오리지널 독일 수입 수직 리프팅 유닛으로 업그레이드되어 높은 정밀도, 백래시 없는 전송, 부드러운 작동, 내식성, 유지 보수가 필요 없는 평생 성능 및 연장된 서비스 수명을 제공합니다.
3. 밀폐형 챔버 구조로 설계되었으며, 코팅 용액과 샘플 모두 밀폐된 챔버 내부에 배치되어 외부 환경의 간섭을 방지합니다. 투명한 전면 및 측면 패널을 통해 코팅 공정을 명확하게 관찰할 수 있습니다.
4. 6가지 조절 가능한 매개변수(하강 속도, 침지 시간, 인출 속도, 코팅 치수, 코팅 사이클 수 및 사이클 간 간격 시간)를 갖춘 완전 자동 프로그램 제어. 모든 매개변수는 지속적으로 조절 가능하며 정밀하게 제어됩니다. 코팅 프로그램이 설정되면 하강부터 침지 및 인출까지 전체 공정이 완전히 자동화됩니다.
5. 유연한 코팅 절차를 위해 완전 자동 작동 및 수동 모드를 모두 지원합니다.
6. 7인치 터치 스크린 인터페이스가 장착되어 작동 중 실시간 매개변수를 표시하여 코팅 진행 상황을 직관적으로 모니터링할 수 있습니다.
7. 고속 및 저속 모두에서 부드럽게 작동하며 작업 중 액체 표면 진동이 없어 보다 균일한 필름 형성을 가능하게 합니다.
8. 표준 구성에는 기판을 안전하고 안정적으로 고정하기 위한 3개의 클램핑 고정구가 포함됩니다. 고정구 조의 양쪽에는 고무 패드가 부착되어 기판 손상을 방지합니다.
제품 매개변수
기능성 딥 코팅기 다층 인출 필름 증착 시스템 건습 겔 필름 코팅 테스터 포토레지스트 코터
기술 사양
| 인출 속도 범위 | 1~10000 μm/s, 최소 해상도 1 μm/s |
| 속도 정확도 | -0.01%~+0.01% |
| 최대 이동 거리 | 약 370mm (실제 제품에 따라 다름) |
| 적용 가능한 기판 크기 | 최소 10*10mm, 최대 300*300mm, 최대 두께 10mm |
| 침지 시간 | 1~3600초, 최소 해상도 1초 |
| 순환 코팅 횟수 | 1~1000 사이클, 최소 1 사이클 |
| 사이클 간 간격 시간 | 1~3600초, 최소 해상도 1초 |
| 전원 공급 장치 | 220V/50Hz |
제품 이미지
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