Mehrschicht-Abziehfilm-Abscheidungssystem für Tauchbeschichtungsmaschinen, Trocken-, Nass-, Gel-Filmbeschichtungstester, Fotolackbeschichter

Produkt Anwendung Das LR-Z268 Tauchbeschichtungs- und Abziehfilm-Abscheidungssystem wird hauptsächlich zur Herstellung von Dünnschichtmaterialien durch flüssigphasige Methoden wie das Sol-Gel-Verfahren verwendet. Ein sauberes, trockenes Substrat wird in eine Lösung getaucht und dann gemäß voreingestellten Parametern mit kontrollierter Geschwindigkeit langsam herausgezogen. Dies führt zu einer dünnen Filmschicht, die auf dem Substrat haftet und als "Nassgel-Film" bezeichnet wird. Wenn das Lösungsmittel aus diesem Nassgel-Film verdunstet, verfestigt es sich auf dem Substrat zu einem "Trockengel-Film". Weiteres Trocknen und Hochtemperatur-Wärmebehandlung des Trockengel-Films ergeben das gewünschte Nano-Dünnschichtmaterial.

Parameter wie Abziehgeschwindigkeit, Abziehhöhe, Eintauchzeit, Anzahl der Beschichtungszyklen (für Mehrschichtbeschichtungen) und das Intervall zwischen den Beschichtungen sind kontinuierlich einstellbar und präzise gesteuert. Das System stellt keine besonderen Anforderungen an die Substrattypen – flache Wafer, Blöcke oder Zylinder können alle beschichtet werden. Mit stabilem Betrieb und vibrationsfreier Flüssigkeitsoberfläche während der Verarbeitung werden die experimentelle Genauigkeit und Effizienz erheblich verbessert.

Diese Ausrüstung eignet sich zur Abscheidung von Filmen auf festen Oberflächen wie Siliziumwafern, Halbleiterchips, Glas, Keramik und Metallen und wird in der wissenschaftlichen Forschung und industriellen Produktion weit verbreitet eingesetzt.

1. Angetrieben von Servomotoren, kombiniert mit einem originalen, in Deutschland importierten vertikalen Hubmechanismus und einem programmierbaren Steuerungssystem, das hohe Betriebsgenauigkeit und Stabilität gewährleistet. Die hohe Genauigkeit, Laufruhe und Vibrationsfreiheit des Servomotors sind mit Schrittmotoren nicht zu vergleichen.

2. Aufgerüstet mit einer originalen, in Deutschland importierten vertikalen Hub-Einheit aus speziellen Funktionsmaterialien, die hohe Präzision, spielfreie Übertragung, reibungslosen Betrieb, Korrosionsbeständigkeit, wartungsfreie Lebensdauer und eine verlängerte Lebensdauer bietet.

3. Ausgestattet mit einer geschlossenen Kammerstruktur, in der sowohl die Beschichtungslösung als auch die Proben in einer versiegelten Kammer platziert werden, um Störungen durch die äußere Umgebung zu verhindern. Transparente Vorder- und Seitenwände ermöglichen eine klare Beobachtung des Beschichtungsprozesses.

4. Vollautomatische Programmsteuerung mit sechs einstellbaren Parametern: Absenkgeschwindigkeit, Eintauchzeit, Abziehgeschwindigkeit, Beschichtungsabmessungen, Anzahl der Beschichtungszyklen und Intervallzeit zwischen den Zyklen – alle kontinuierlich einstellbar und präzise gesteuert. Sobald das Beschichtungsprogramm eingestellt ist, ist der gesamte Prozess – vom Absenken über das Eintauchen bis zum Abziehen – vollautomatisch.

5. Unterstützt sowohl vollautomatischen Betrieb als auch manuellen Modus für flexible Beschichtungsverfahren.

6. Ausgestattet mit einer 7-Zoll-Touchscreen-Oberfläche, die Echtzeitparameter während des Betriebs anzeigt und eine intuitive Überwachung des Beschichtungsprozesses ermöglicht.

7. Arbeitet reibungslos bei hohen und niedrigen Geschwindigkeiten, ohne Vibrationen der Flüssigkeitsoberfläche während der Arbeit, was zu einer gleichmäßigeren Filmbildung führt.

8. Die Standardkonfiguration umfasst drei Klemmvorrichtungen für eine sichere und stabile Substrathalterung. Beide Seiten der Vorrichtungsklemmen sind mit Gummipads ausgekleidet, um Beschädigungen der Substrate zu vermeiden.