Machine de revêtement par immersion Système de dépôt de film de retrait multi-couche Testeur de revêtement de film de gel humide sec revêtement photorésistant

Application du produit Le système de dépôt de film par trempage et retrait LR-Z268 est principalement utilisé pour préparer des matériaux en film mince par des méthodes en phase liquide telles que le procédé sol-gel. Un substrat propre et sec est immergé dans une solution, puis, selon des paramètres prédéfinis, retiré lentement à une vitesse contrôlée. Il en résulte une fine couche de film adhérant au substrat, connue sous le nom de « film de gel humide ». À mesure que le solvant s'évapore de ce film de gel humide, il se solidifie sur le substrat en un « film de gel sec ». Un séchage supplémentaire et un traitement thermique à haute température du film de gel sec donnent le matériau nanostructuré souhaité.

Les paramètres, y compris la vitesse de retrait, la hauteur de retrait, le temps d'immersion, le nombre de cycles de revêtement (pour les revêtements multicouches) et le temps d'intervalle entre les revêtements, sont tous continuellement réglables et précisément contrôlés. Le système n'impose aucune exigence particulière sur les types de substrats : les plaquettes plates, les blocs ou les cylindres peuvent tous être revêtus. Avec un fonctionnement stable et une surface de liquide sans vibration pendant le traitement, la précision et l'efficacité expérimentales sont considérablement améliorées.

Cet équipement convient au dépôt de films sur des surfaces solides telles que les plaquettes de silicium, les puces de semi-conducteurs, le verre, les céramiques et les métaux, et est largement appliqué dans la recherche scientifique et la production industrielle.

1. Entraîné par des servomoteurs, combiné à un mécanisme de levage vertical d'origine importé d'Allemagne et à un système de contrôle programmable, garantissant une haute précision et stabilité opérationnelle. La haute précision, la douceur et l'absence de vibration lors du fonctionnement du servomoteur sont inégalées par les moteurs pas à pas.

2. Mis à niveau avec une unité de levage verticale d'origine importée d'Allemagne fabriquée à partir de matériaux fonctionnels spécialisés, offrant une haute précision, une transmission sans jeu, un fonctionnement fluide, une résistance à la corrosion, des performances à vie sans entretien et une durée de vie prolongée.

3. Conçu avec une structure de chambre fermée, où la solution de revêtement et les échantillons sont placés à l'intérieur d'une chambre scellée pour éviter les interférences de l'environnement extérieur. Les panneaux avant et latéraux transparents permettent une observation claire du processus de revêtement.

4. Contrôle de programme entièrement automatique avec six paramètres réglables : vitesse de descente, temps d'immersion, vitesse de retrait, dimensions de revêtement, nombre de cycles de revêtement et temps d'intervalle entre les cycles, tous continuellement réglables et précisément contrôlés. Une fois le programme de revêtement défini, l'ensemble du processus, de la descente à l'immersion et au retrait, est entièrement automatisé.

5. Prend en charge le fonctionnement entièrement automatique et le mode manuel pour des procédures de revêtement flexibles.

6. Équipé d'une interface à écran tactile de 7 pouces qui affiche les paramètres en temps réel pendant le fonctionnement, permettant une surveillance intuitive de la progression du revêtement.

7. Fonctionne en douceur à des vitesses élevées et basses, sans vibration de la surface du liquide pendant le travail, ce qui permet une formation de film plus uniforme.

8. La configuration standard comprend trois fixations de serrage pour une fixation sûre et stable du substrat. Les deux côtés des mâchoires de fixation sont doublés de patins en caoutchouc pour éviter d'endommager les substrats.