Máy đo Ellipsometry quang phổ quét

Bản đồ Ellipsometer quang phổ Ellipsometer quang phổ Máy Ellipsometry quang phổ Giá nhà máy

I. Tổng quan

ME-Mapping Spectral Ellipsometer là một máy đo quang phổ có thể tùy chỉnh có khả năng lập bản đồ. It is equipped with an automatic Mapping measurement module and can quickly achieve self-defined mapping measurement characterization and analysis of film thickness and optical parameters through the measurement of ellipsometric parameters and transmission/reflection rates.

1.Giải pháp hoàn chỉnh để lập bản đồ và đo toàn bộ chất nền bằng hình elip.

2.Hỗ trợ thiết kế sản phẩm và tùy chỉnh các mô-đun chức năng, với bản vẽ đo bằng một cú nhấp chuột;

3.Thiết lập mô-đun lập bản đồ, cho phép khả năng đo vị trí đa điểm tùy chỉnh nền tảng đầy đủ;

4.Cơ sở dữ liệu phong phú và thư viện mô hình cấu trúc hình học đảm bảo khả năng phân tích dữ liệu mạnh mẽ.

II. Đặc điểm của sản phẩm

1.Một nguồn ánh sáng tổng hợp bao gồm đèn deuterium và đèn halogen được áp dụng, với dải quang phổ từ cực tím đến cận hồng ngoại (193 - 2500 nm).

2.Phương pháp điều chế bù quay chính xác cao và cấu hình PCRSA cho phép thu thập dữ liệu quang phổ Psi / Delta với tốc độ cao.

3.Nó có khả năng tùy chỉnh đầy đủ các phép đo vị trí tự động đa điểm cho toàn bộ nền và cung cấp các báo cáo phân tích và phát hiện độ dày phim toàn diện;

4.Có hàng trăm cơ sở dữ liệu vật liệu và nhiều thư viện mô hình thuật toán có sẵn, bao gồm phần lớn các vật liệu quang điện hiện tại.

III. Ứng dụng sản phẩm 

ME-Mapping được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng công nghiệp như OLED, LED, quang điện và mạch tích hợp, cho phép đo lường và mô tả nhanh độ dày phim nền diện tích lớn,hằng số quang học, và phân bố độ dày phim.

Bản đồ Ellipsometer quang phổ Ellipsometer quang phổ Máy Ellipsometry quang phổ Giá nhà máy

Thông số kỹ thuật